ASM International Epsilon 2000 单片外延沉积系统
Epsilon 2000
Epsilon 2000 是 ASM 官网列出的单片外延工具，支持 150 mm 和 200 mm 晶圆的多种外延应用。
广西科米瑞实验仪器设备有限公司生产销售 ASM International Epsilon 2000，可提供产品参数、报价和售后服务咨询，价格面议。
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Epsilon 2000 是 ASM 官网列出的单片外延工具，支持 150 mm 和 200 mm 晶圆的多种外延应用。
规格参数
- 型号：Epsilon 2000
- 产品名称：Epsilon® 2000
- Our Epsilon 2000 single-wafer epitaxy tool offers a wide variety of epitaxy applications for 150 mm and 200 mm wafers. They range from high-temperature silicon for wafer preparation to low-temperature selective or non-selective silicon
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