Epsilon 2000
Epsilon 2000 是 ASM 官网列出的单片外延工具,支持 150 mm 和 200 mm 晶圆的多种外延应用。
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Epsilon 2000 是 ASM 官网列出的单片外延工具,支持 150 mm 和 200 mm 晶圆的多种外延应用。
| 型号 | Epsilon 2000 |
|---|---|
| 产品名称 | Epsilon® 2000 |
| 产品说明 | Our Epsilon 2000 single-wafer epitaxy tool offers a wide variety of epitaxy applications for 150 mm and 200 mm wafers. They range from high-temperature silicon for wafer preparation to low-temperature selective or non-selective silicon |
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