ASM International PE1O6A / PE1O8 碳化硅外延系统
PE1O6A / PE1O8
PE1O6A 是支持 100 mm 和 150 mm 晶圆的单片外延工具，PE1O8 面向 150 mm 和 200 mm 晶圆。两款设备采用单腔 SiC 外延结构和单片横向流反应器
广西科米瑞实验仪器设备有限公司生产销售 ASM International PE1O6A / PE1O8，可提供产品参数、报价和售后服务咨询，价格面议。
← 返回产品列表
PE1O6A 是支持 100 mm 和 150 mm 晶圆的单片外延工具，PE1O8 面向 150 mm 和 200 mm 晶圆。
两款设备采用单腔 SiC 外延结构和单片横向流反应器。
系统包括 cassette-to-cassette 操作及高温装卸。
提交需求
请填写必填信息，我们将在工作日尽快回复。