ASM International XP8 DCM PEALD 等离子体增强原子层沉积系统
XP8 DCM PEALD
XP8 DCM PEALD 是面向先进半导体应用的 300 mm 高生产率等离子体增强原子层沉积系统。规格参数 型号：XP8 DCM PEALD。产品名称：XP8® DCM™ PEALD。X
广西科米瑞实验仪器设备有限公司生产销售 ASM International XP8 DCM PEALD，可提供产品参数、报价和售后服务咨询，价格面议。
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XP8 DCM PEALD 是面向先进半导体应用的 300 mm 高生产率等离子体增强原子层沉积系统。
规格参数
- 型号：XP8 DCM PEALD
- 产品名称：XP8® DCM™ PEALD
- XP8® DCM™ is a high-productivity 300 mm plasma-enhanced atomic layer deposition (PEALD) system designed for advanced semiconductor applications. Configurable with up to four Dual Chamber Modules (DCM), it supports eight reaction chambers f
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