ASM International XP8 Magma PEALD 等离子体增强原子层沉积系统
XP8 Magma PEALD
XP8 Magma PEALD 是面向先进节点存储器和逻辑制造的 300 mm 等离子体增强原子层沉积系统。
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说明
XP8 Magma PEALD 是面向先进节点存储器和逻辑制造的 300 mm 等离子体增强原子层沉积系统。
规格参数
- 型号：XP8 Magma PEALD
- 产品名称：XP8® Magma PEALD
- XP8® Magma is a state-of-the-art 300 mm plasma-enhanced atomic layer deposition (PEALD) system engineered for advanced node memory and logic manufacturing. It delivers high productivity and supports a comprehensive range of dielectric PEALD
规格
| 型号 | XP8 Magma PEALD |
|---|---|
| 产品名称 | XP8® Magma PEALD |
| 产品说明 | XP8® Magma is a state-of-the-art 300 mm plasma-enhanced atomic layer deposition (PEALD) system engineered for advanced node memory and logic manufacturing. It delivers high productivity and supports a comprehensive range of dielectric PEALD |
FAQ
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