ASM International XP8 Synergis 热 ALD 系统
XP8 Synergis
XP8 Synergis 是用于多种热 ALD 应用的高生产率设备，可配置最多四个双腔模块，在紧凑占地内支持八个腔体。规格参数 型号：XP8 Synergis。产品名称：XP8® Synergis®。产品说明摘
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XP8 Synergis 是用于多种热 ALD 应用的高生产率设备，可配置最多四个双腔模块，在紧凑占地内支持八个腔体。
规格参数
- 型号：XP8 Synergis
- 产品名称：XP8® Synergis®
- Synergis® is a high-productivity tool for a wide range of thermal ALD applications. The Synergis system can be configured with up to four Dual Chamber Modules (DCM), enabling eight chambers in high volume production, within a very compact f
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