Beneq C2R
Beneq C2R 是 Beneq 官方 Spatial Series 产品线中的低温 PEALD 空间 ALD 系统，官方列出最高 2000 nm/h 或 0.55 nm/s 沉积速率。
广西科米瑞实验仪器设备有限公司生产销售 Beneq Beneq C2R，可提供产品参数、报价和售后服务咨询，价格面议。
← 返回产品列表Beneq C2R 为 low-temperature PEALD spatial ALD system。
参数列出最高 2000 nm/h 或 0.55 nm/s 沉积速率，最高 200 rpm，cycle time 300 ms。
页面还列出可处理最多 7 片 200 mm 晶圆。
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