OLS5100
OLS5100激光扫描显微镜、激光共聚焦显微镜专为失效分析和材料工程研究而设计,将出色的测量精度和光学性能与智能工具相结合,使显微镜使用起来更加方便。它可以快速高效完成亚微米级形貌和表面粗糙度的精确测量,不仅简化了工作流程,还能提供值得信赖的数据
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LEXT OLS5100 3D激光扫描显微镜 用于材料分析的激光显微镜 智能工作流程,更快地完成实验 OLS5100激光显微镜专为失效分析和材料工程研究而设计,将出色的测量精度和光学性能与智能工具相结合,使显微镜使用起来更加方便。它可以快速高效完成亚微米级形貌和表面粗糙度的精准测量,不仅简化了工作流程,还能提供值得信赖的数据。观看视频
智能工作流程,更快地完成实验
OLS5100激光显微镜专为失效分析和材料工程研究而设计,将出色的测量精度和光学性能与智能工具相结合,使显微镜使用起来更加方便。它可以快速高效完成亚微米级形貌和表面粗糙度的精准测量,不仅简化了工作流程,还能提供值得信赖的数据。
有保证的测量准确度 LEXT显微镜物镜可提供高度准确的测量数据。与Smart Lens Advisor(智能镜头顾问)配合使用,可以获得值得信赖的准确数据。有保证的测量准确度 10倍至100倍物镜可减少405 nm波长的像差,在整个视场中捕捉样品的真实形貌。Smart Lens Advisor(智能镜头顾问)有助于为粗糙度测量选择合适的物镜
LEXT显微镜物镜可提供高度准确的测量数据。与Smart Lens Advisor(智能镜头顾问)配合使用,可以获得值得信赖的准确数据。
易于操作的激光扫描显微镜 通过精心设计的软件,新手和有经验的用户都可以轻松使用显微镜。轻松获取准确数据:将样品放在载物台上,然后按下“开始”按钮即可 在客户的实验环境下也能提供有保证的测试结果*。本网页上的信息(包括保证的准确度)均基于Evident设定的条件。
通过精心设计的软件,新手和有经验的用户都可以轻松使用显微镜。
轻松获取准确数据:将样品放在载物台上,然后按下“开始”按钮即可
在客户的实验环境下也能提供有保证的测试结果*。
本网页上的信息(包括保证的准确度)均基于Evident设定的条件。
材料工程和失效分析实验更轻松 智能实验管理器可将以前耗时的任务自动化,使亚微米级3D观察和失效分析实验工作流程变得更加简单。利用宏功能实现分析工作流程的自动化 测量数据易于整理 将数据自动填充到实验计划矩阵中,减少了输入错误的几率 测量结果以列表形式显示,一眼就能做出通过/不通过的判断。
材料工程和失效分析实验更轻松
智能实验管理器可将以前耗时的任务自动化,使亚微米级3D观察和失效分析实验工作流程变得更加简单。
利用宏功能实现分析工作流程的自动化
将数据自动填充到实验计划矩阵中,减少了输入错误的几率
测量结果以列表形式显示,一眼就能做出通过/不通过的判断。
可按照您的规格全面定制 利用OLS5100激光扫描显微镜的所有高级功能,对大型和重型样品进行材料分析。
利用OLS5100激光扫描显微镜的所有高级功能,对大型和重型样品进行材料分析。
简单明了 — 让您专注于核心业务
高性价比 — 在整个合同期内为您节省成本
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1. 亚微米级3D观察/测量 观察纳米范围内的台阶,测量亚微米级的高度差。
1. 亚微米级3D观察/测量
| 传统物镜很难在边缘区域进行准确测量。专用的LEXT物镜可准确测量边缘区域。 | 传统物镜很难在边缘区域进行准确测量。/ 专用的LEXT物镜可准确测量边缘区域。/ 有保证的测量准确度 LEXT显微镜物镜可提供高度准确的测量数据。与Smart Lens Advisor(智能镜头顾问)配合使用,可以获得值得信赖的准确数据。有保证的测量准确度 10倍至100倍物镜可减少405 nm波长的像差,在整个视场中捕捉样品的真实形貌。Smart Lens Advisor(智能镜头顾问)有助于为粗糙度测量选择合适的物镜 |
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| 测量表面轮廓上最高点和最低点之间的台阶高差 | 轮廓测量/测量辅助工具 轮廓测量功能通过在图像中的待测位置上任意绘制测量线的方式显示表面轮廓。它还可以测量任意两个点之间的距离、宽度、横截面积和半径。与接触式测量工具不同,这种测量位置的设置非常简单。可以在图像上标记测量线和测量点,因此即使是非常小的位点也能准确测量。有了测量辅助工具,就可以使用最高值点、最低值点、中间值点和/或平均值点准确指定待测点。在所获取的数据中指定了一个位点时,可根据指定条件自动提取特征点。 |
| 型号 | OLS5100-SAF / OLS5100-SMF / OLS5100-LAF / OLS5100-EAF |
| 综合倍率 | 54x ~ 17280x |
| 视场 | 16 µm ~ 5,120 µm |
| 测量原理 | 光学系统 / 反射型共聚焦激光扫描(激光)显微镜 反射型共聚焦激光扫描(激光-DIC)显微镜 彩色 彩色-DIC |
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| 测量原理 |
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| 光接收元件 / 激光:光电倍增管(2通道) 彩色:CMOS彩色相机 |
| 高度测量 | 显示分辨率 / 0.5 nm |
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| 高度测量 | 动态范围 / 16位 |
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| 高度测量 | 可重复性σ n-1 *1 *2 *5 / 5X:0.45μm,10X:0.1μm,20X:0.03μm,50X:0.012μm,100X:0.012μm |
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| 高度测量 | 准确度 *1 *3 *5 / 0.15 + L/100 μm(L:测量长度[μm]) |
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| 高度测量 | 拼接图像准确度 *1 *3 *5 / 10X:5.0+L/100 μm;20X或更高:1.0+L/100 μm(L:拼接长度[μm]) |
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| 高度测量 | 测量噪声(Sq噪声) *1 *4 *5 / 1 nm(典型值) |
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| 宽度测量 | 显示分辨率 / 1 nm |
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| 宽度测量 | 可重复性3σ n-1 *1 *2 *5 / 5X:0.4μm,10X:0.2μm,20X:0.05μm,50X:0.04μm,100X:0.02μm |
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| 宽度测量 | 准确度 *1 *3 *5 / 测量值+/- 1.5% |
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| 宽度测量 | 拼接图像准确度 *1 *3 *5 / 10X:24+0.5L μm;20X:15+0.5L μm;50X:9+0.5L μm;100X: 7+0.5L μm(L:拼接长度[mm]) |
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| 单次测量时最大测量点数量 | 4096 × 4096像素 |
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| 最大测量点数量 | 3600万像素 |
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| XY载物台配置 | 长度测量模块 / • / 不适用 / 不适用 / • |
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| XY载物台配置 | 工作范围 / 100 × 100 mm电动 / 100 × 100 mm 手动 / 300 × 300 mm 电动 / 100 × 100 mm 电动 |
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| 最大样品高度 | 100 mm / 40 mm / 37 mm / 210 mm |
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| 激光光源 | 波长 / 405 nm |
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| 激光光源 | 最大输出 / 0.95 mW |
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| 激光光源 | 激光分类 / 2类(IEC60825-1:2007,IEC60825-1:2014 *6 |
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| 彩色光源 | 白光LED灯 |
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| 电气功率 | 240 W / 240 W / 278 W / 240 W |
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| 质量 | 显微镜主体 / 约重31 kg / 约重32 kg / 约重50 kg / 约重43 kg |
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| 质量 | 控制盒 / 约重12 kg |
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