OLS5500
LEXT OLS5500 全新一代精准测量激光共聚焦显微镜 用于材料分析的激光显微镜 智能工作流程,更快地完成实验 LEXT™ OLS5500是一款屡获殊荣的成像平台,融合了激光扫描显微镜(LSM)、白光干涉仪(WLI)和聚焦变化显微镜(FVM)技术
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LEXT OLS5500 全新一代精准测量激光共聚焦显微镜 用于材料分析的激光显微镜 智能工作流程,更快地完成实验 LEXT™ OLS5500是一款屡获殊荣的成像平台,融合了激光扫描显微镜(LSM)、白光干涉仪(WLI)和聚焦变化显微镜(FVM)技术。该产品专为研发、质量保证和质量控制团队设计,可提供精确的表面细节、可追溯的精度以确保测量的可靠性,以及直观的用户体验以简化工作流程。由精密光学、可验证校准和智能自动化驱动的可信数据,帮助实验室实现从最初发现到最终判定的无缝过渡。OLS5500融合LSM、WLI和FVM三种卓越成像技术于一体,在提供便捷操作体验的同时,实现了较传统激光共聚焦显微镜快40倍的检测效率。它也是款为LSM与WLI测量结果提供准确性与重复性*双重保障的三维光学轮廓测量设备。详细信息 Product Status: 本产品可替代 LEXT OLS5100 及更早的 OLS 系列系统。下载产品信息说明册
LEXT™ OLS5500是一款屡获殊荣的成像平台,融合了激光扫描显微镜(LSM)、白光干涉仪(WLI)和聚焦变化显微镜(FVM)技术。该产品专为研发、质量保证和质量控制团队设计,可提供精确的表面细节、可追溯的精度以确保测量的可靠性,以及直观的用户体验以简化工作流程。由精密光学、可验证校准和智能自动化驱动的可信数据,帮助实验室实现从最初发现到最终判定的无缝过渡。OLS5500融合LSM、WLI和FVM三种卓越成像技术于一体,在提供便捷操作体验的同时,实现了较传统激光共聚焦显微镜快40倍的检测效率。它也是款为LSM与WLI测量结果提供准确性与重复性*双重保障的三维光学轮廓测量设备。
Product Status: 本产品可替代 LEXT OLS5100 及更早的 OLS 系列系统。
测量更精准,工作更安心 屡获殊荣的 LEXT™ OLS5500融合了激光扫描显微镜(LSM)、白光干涉仪(WLI)和聚焦变化显微镜(FVM)三种技术于一体,确保清晰、准确地测量样品表面。精准表面测量的全方位成像解决方案 LSM: 卓越的横向分辨率,精准测量粗糙纹理、微观结构和陡峭斜面。WLI: 纳米级垂直精度,适合测量光滑表面、斜面和薄膜。FVM: 从宏观到微观测量全覆盖,适用于测量需要更广视野的大面积或不规则区域。多种测量方法互为补充—可为每一种表面提供合适的成像模式。一套系统覆盖从纳米级到毫米级测量、从平坦区域到陡峭斜坡测量,生成全面、真实的表面数据。
屡获殊荣的 LEXT™ OLS5500融合了激光扫描显微镜(LSM)、白光干涉仪(WLI)和聚焦变化显微镜(FVM)三种技术于一体,确保清晰、准确地测量样品表面。
LSM: 卓越的横向分辨率,精准测量粗糙纹理、微观结构和陡峭斜面。
WLI: 纳米级垂直精度,适合测量光滑表面、斜面和薄膜。
FVM: 从宏观到微观测量全覆盖,适用于测量需要更广视野的大面积或不规则区域。
多种测量方法互为补充—可为每一种表面提供合适的成像模式。一套系统覆盖从纳米级到毫米级测量、从平坦区域到陡峭斜坡测量,生成全面、真实的表面数据。
OLS5500凭借高清晰成像能力可识别细微特征和表面变化—采用 LSM、WLI 和 FVM 检测缺陷、确认设计,做出可信决策。
激光显微镜物镜 专用 LEXT 物镜能够精准测量边缘区域,克服了传统物镜面临的测量挑战。
揭示不可见细节的清晰度 捕捉传统系统无法显示的关键特征,提高验证速度。从微小结构和细微表面形貌,到透明表面和低对比度特征,OLS5500 提供多种对比度增强选择,显示隐藏或细微的细节。4K 成像采用高灵敏度传感器,确保实现精细对比度和色彩保真度。激光微分干涉对比 (DIC) 和彩色微分干涉对比 (DIC) 技术能够以惊人的清晰度显示表面形貌和材料边界。上表面检测滤色片可分离出真实表面,消除来自底层的干扰。
捕捉传统系统无法显示的关键特征,提高验证速度。从微小结构和细微表面形貌,到透明表面和低对比度特征,OLS5500 提供多种对比度增强选择,显示隐藏或细微的细节。
4K 成像采用高灵敏度传感器,确保实现精细对比度和色彩保真度。
激光微分干涉对比 (DIC) 和彩色微分干涉对比 (DIC) 技术能够以惊人的清晰度显示表面形貌和材料边界。
上表面检测滤色片可分离出真实表面,消除来自底层的干扰。
聚合物薄膜的对比图像。左图:未采用 DIC 的激光图像。右图:采用 DIC 的激光图像。
硬盘启停区的对比图像。左图:未采用 DIC 的彩色图像 右图:采用 DIC 的彩色图像。
晶圆的拼接图像对比。左图:未采用智能阴影校正。右图:采用智能阴影校正。
大面积无缝成像 检查更大区域—同时保持细节和图像完整性。智能阴影校正可最大限度地减少伪影,并优化拼接图像的光照分布,即使在低对比度或不均匀的表面上也能确保无缝效果。这种全域范围的清晰度确保了分析结果的一致性。
检查更大区域—同时保持细节和图像完整性。智能阴影校正可最大限度地减少伪影,并优化拼接图像的光照分布,即使在低对比度或不均匀的表面上也能确保无缝效果。这种全域范围的清晰度确保了分析结果的一致性。
准确、可信的测量 采用 LSM、WLI 和 FVM 实现可验证、可追溯的可信测量,减少了重复测试、返工和拒收情况的发生。准确性和重复性保障 在多种应用中获得一致且高精度的测量结果—OLS5500 是款能够确保 LSM 和 WLI 测量结果准确性和重复性* 的 3D 光学轮廓测量设备。由 Evident 技术人员进行现场校准,可确保测量结果的准确性和重复性,并带有时间戳记录,从而确保符合国际计量标准。您测量的每个值都会通过我们可追溯的校准流程进行验证,从而为您提供可在审计、报告和生产检查中使用的具有可追溯性的结果。* 根据 Evident 截至 2025 年 10 月的内部研究结果。设备必须按照制造商的规格进行校准并且不存在任何缺陷时,方可保证测量的准确性和重复性。校准必须由 Evident 的技术人员或 Evident 授权的专家执行。
采用 LSM、WLI 和 FVM 实现可验证、可追溯的可信测量,减少了重复测试、返工和拒收情况的发生。
在多种应用中获得一致且高精度的测量结果—OLS5500 是款能够确保 LSM 和 WLI 测量结果准确性和重复性* 的 3D 光学轮廓测量设备。
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| 激光显微镜物镜 专用 LEXT 物镜能够精准测量边缘区域,克服了传统物镜面临的测量挑战。 | 从左到右排列的 LEXT 物镜:长工作距离(20X、50X、100X)、高性能(20X、50X、100X)和低倍率(10X)。 |
|---|---|
| 聚合物薄膜的对比图像。左图:未采用 DIC 的激光图像。右图:采用 DIC 的激光图像。 | 硬盘启停区的对比图像。左图:未采用 DIC 的彩色图像 右图:采用 DIC 的彩色图像。 |
| 晶圆的拼接图像对比。左图:未采用智能阴影校正。右图:采用智能阴影校正。 | 大面积无缝成像 检查更大区域—同时保持细节和图像完整性。智能阴影校正可最大限度地减少伪影,并优化拼接图像的光照分布,即使在低对比度或不均匀的表面上也能确保无缝效果。这种全域范围的清晰度确保了分析结果的一致性。 |
| 说明准确性与重复性差异的插图。 | AIST 标准示例 |
| 长度测量模块 | 测量噪声保障 可信的高度测量——即使是纳米尺度也可以保证高度测量的可信度。OLS5500 可以保证测量噪声水平* 符合 ISO 25178-700:2022 标准:使用 MPLAPON 100X LEXT 物镜时为 1 nm 使用 WLI 物镜时为 0.08 nm 确保即使细微的表面形貌也能被高分辨率地检测,从薄膜到微结构表面都是如此。*您将获得测量噪声保证证书。该值是在 Evident 规定的条件下测量的典型值,可能与保证值有所不同。拼接图像准确性保障 OLS5500 电动载物台配备 |
| VLSI 标准 83 nm 高度样品 (MPLFLN10LEXT)。 | 硅表面上的光刻胶图案。由京都大学纳米技术中心提供。 |
| 左图:关闭智能判定:右图:开启智能判定 | 智能判定自动检测可靠的数据,提供准确测量的同时,不会丢失细微的高度不规则数据。 |
| 型号 | OLS5500-SAF / OLS5500-EAF / OLS5500-LAF |
| 总倍率 | 54X ~ 17280X |
| 视场 | 16 µm ~ 5,120 µm |
| 测量原理 | 光学系统 / 反射型共焦激光扫描显微成像 反射型共焦激光扫描 DIC 成像 聚焦变化显微成像、彩色成像、彩色DIC成像 |
| 白光干涉测量法 | - |
| 光接收元件 | 激光:光电倍增管(双通道),彩色:CMOS 彩色相机 |
| LSM | 高度 / 重复性 σn-1 *1 *2 *5 / 5X: 0.45 μm, 10X: 0.1 μm, 20X: 0.03 μm, 50X: 0.012 μm, 100X: 0.012 μm |
| 准确性 *1 *3 *5 | 0.15 + L/100 μm(L:测量长度 [μm]) |
| 测量噪声 *1 *4 *5 | 1 nm(典型值) |
| 长度 | 重复性 3σn-1 *1 *2 *5 / 5X: 0.4 μm, 10X: 0.2 μm, 20X: 0.05 μm, 50X: 0.04 μm, 100X: 0.02 μm |
| 准确性 *1 *3 *5 | 测量值±1.5% |
| 单次测量时最大测量点数量 | 4096 × 4096 像素 |
| 最大测量点数量 | 4 亿像素 |
| XY 载物台配置 | 工作范围 / 100 mm × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 电动 / 300 mm × 300 mm (11.8 × 11.8 in.) 电动 |
| 最大样品高度 | 100 mm / 210 mm / 37 mm |
| 激光光源 | 波长 / 405 nm |
| 最大输出 | 0.95 mW |
| 激光分类 | 2 类(JIS C 6802:2018、IEC60825-1:2014、EN60825-1:2014/A11:2021、GB/T 7247.1-2024) |
| 彩色光源 | 白光LED |
| 电气功率 | 240 W / 278 W |
| 质量 | 显微镜主体 / 约 31 kg (68.3 lb) / 约 43 kg (94.8 lb) / 约 50 kg (110.2 lb) |
| 控制箱 | 约 12 kg (26.5 lb) |
| WLI | 高度 / 重复性 σn-1 *1 *5 / 0.3% |