显微镜解决方案 OLS5500

LEXT OLS5500 全新一代精准测量激光共聚焦显微镜 用于材料分析的激光显微镜 智能工作流程，更快地完成实验 LEXT™ OLS5500是一款屡获殊荣的成像平台，融合了激光扫描显微镜（LSM）、白光干涉仪（WLI）和聚焦变化显微镜（FVM）技术。该产品专为研发、质量保证和质量控制团队设计，可提供精确的表面细节、可追溯的精度以确保测量的可靠性，以及直观的用户体验以简化工作流程。由精密光学、可验证校准和智能自动化驱动的可信数据，帮助实验室实现从最初发现到最终判定的无缝过渡。OLS5500融合LSM、WLI和FVM三种卓越成像技术于一体，在提供便捷操作体验的同时，实现了较传统激光共聚焦显微镜快40倍的检测效率。它也是款为LSM与WLI测量结果提供准确性与重复性*双重保障的三维光学轮廓测量设备。详细信息 Product Status: 本产品可替代 LEXT OLS5100 及更早的 OLS 系列系统。下载产品信息说明册

LEXT™ OLS5500是一款屡获殊荣的成像平台，融合了激光扫描显微镜（LSM）、白光干涉仪（WLI）和聚焦变化显微镜（FVM）技术。该产品专为研发、质量保证和质量控制团队设计，可提供精确的表面细节、可追溯的精度以确保测量的可靠性，以及直观的用户体验以简化工作流程。由精密光学、可验证校准和智能自动化驱动的可信数据，帮助实验室实现从最初发现到最终判定的无缝过渡。OLS5500融合LSM、WLI和FVM三种卓越成像技术于一体，在提供便捷操作体验的同时，实现了较传统激光共聚焦显微镜快40倍的检测效率。它也是款为LSM与WLI测量结果提供准确性与重复性*双重保障的三维光学轮廓测量设备。

Product Status: 本产品可替代 LEXT OLS5100 及更早的 OLS 系列系统。

测量更精准，工作更安心 屡获殊荣的 LEXT™ OLS5500融合了激光扫描显微镜（LSM）、白光干涉仪（WLI）和聚焦变化显微镜（FVM）三种技术于一体，确保清晰、准确地测量样品表面。精准表面测量的全方位成像解决方案 LSM: 卓越的横向分辨率，精准测量粗糙纹理、微观结构和陡峭斜面。WLI: 纳米级垂直精度，适合测量光滑表面、斜面和薄膜。FVM: 从宏观到微观测量全覆盖，适用于测量需要更广视野的大面积或不规则区域。多种测量方法互为补充—可为每一种表面提供合适的成像模式。一套系统覆盖从纳米级到毫米级测量、从平坦区域到陡峭斜坡测量，生成全面、真实的表面数据。

屡获殊荣的 LEXT™ OLS5500融合了激光扫描显微镜（LSM）、白光干涉仪（WLI）和聚焦变化显微镜（FVM）三种技术于一体，确保清晰、准确地测量样品表面。

LSM: 卓越的横向分辨率，精准测量粗糙纹理、微观结构和陡峭斜面。

WLI: 纳米级垂直精度，适合测量光滑表面、斜面和薄膜。

FVM: 从宏观到微观测量全覆盖，适用于测量需要更广视野的大面积或不规则区域。

多种测量方法互为补充—可为每一种表面提供合适的成像模式。一套系统覆盖从纳米级到毫米级测量、从平坦区域到陡峭斜坡测量，生成全面、真实的表面数据。

OLS5500凭借高清晰成像能力可识别细微特征和表面变化—采用 LSM、WLI 和 FVM 检测缺陷、确认设计，做出可信决策。

激光显微镜物镜 专用 LEXT 物镜能够精准测量边缘区域，克服了传统物镜面临的测量挑战。

揭示不可见细节的清晰度 捕捉传统系统无法显示的关键特征，提高验证速度。从微小结构和细微表面形貌，到透明表面和低对比度特征，OLS5500 提供多种对比度增强选择，显示隐藏或细微的细节。4K 成像采用高灵敏度传感器，确保实现精细对比度和色彩保真度。激光微分干涉对比 (DIC) 和彩色微分干涉对比 (DIC) 技术能够以惊人的清晰度显示表面形貌和材料边界。上表面检测滤色片可分离出真实表面，消除来自底层的干扰。

捕捉传统系统无法显示的关键特征，提高验证速度。从微小结构和细微表面形貌，到透明表面和低对比度特征，OLS5500 提供多种对比度增强选择，显示隐藏或细微的细节。

4K 成像采用高灵敏度传感器，确保实现精细对比度和色彩保真度。

激光微分干涉对比 (DIC) 和彩色微分干涉对比 (DIC) 技术能够以惊人的清晰度显示表面形貌和材料边界。

上表面检测滤色片可分离出真实表面，消除来自底层的干扰。

聚合物薄膜的对比图像。左图：未采用 DIC 的激光图像。右图：采用 DIC 的激光图像。

硬盘启停区的对比图像。左图：未采用 DIC 的彩色图像 右图：采用 DIC 的彩色图像。

晶圆的拼接图像对比。左图：未采用智能阴影校正。右图：采用智能阴影校正。

大面积无缝成像 检查更大区域—同时保持细节和图像完整性。智能阴影校正可最大限度地减少伪影，并优化拼接图像的光照分布，即使在低对比度或不均匀的表面上也能确保无缝效果。这种全域范围的清晰度确保了分析结果的一致性。

检查更大区域—同时保持细节和图像完整性。智能阴影校正可最大限度地减少伪影，并优化拼接图像的光照分布，即使在低对比度或不均匀的表面上也能确保无缝效果。这种全域范围的清晰度确保了分析结果的一致性。

准确、可信的测量 采用 LSM、WLI 和 FVM 实现可验证、可追溯的可信测量，减少了重复测试、返工和拒收情况的发生。准确性和重复性保障 在多种应用中获得一致且高精度的测量结果—OLS5500 是款能够确保 LSM 和 WLI 测量结果准确性和重复性* 的 3D 光学轮廓测量设备。由 Evident 技术人员进行现场校准，可确保测量结果的准确性和重复性，并带有时间戳记录，从而确保符合国际计量标准。您测量的每个值都会通过我们可追溯的校准流程进行验证，从而为您提供可在审计、报告和生产检查中使用的具有可追溯性的结果。* 根据 Evident 截至 2025 年 10 月的内部研究结果。设备必须按照制造商的规格进行校准并且不存在任何缺陷时，方可保证测量的准确性和重复性。校准必须由 Evident 的技术人员或 Evident 授权的专家执行。

采用 LSM、WLI 和 FVM 实现可验证、可追溯的可信测量，减少了重复测试、返工和拒收情况的发生。

在多种应用中获得一致且高精度的测量结果—OLS5500 是款能够确保 LSM 和 WLI 测量结果准确性和重复性* 的 3D 光学轮廓测量设备。