Scios 2 DualBeam

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Scios 2 DualBeam

Thermo Scientific Scios 2 DualBeam 是一套超高分辨率的分析 聚焦离子束扫描电子显微镜 (FIB-SEM) 系统，可为包括磁性和非导电材料在内的各种样品提供出色的样品制备与 3D 表征性能。Scios 2 DualBeam 通过创新的功能设计提高了通量、精度以及易用性，是满足科学家和工程师在学术、政府以及工业研究领域高级研究和分析需求的理想解决方案。

高质量亚表面和 3D 信息

通常需要进行亚表面或三维表征以更好地理解样品的结构和性质。Scios 2 DualBeam 及可选配的 Thermo Scientific Auto Slice & View 4 (AS&V4) 软件可提供高质量、全自动的多模式 3D 数据集采集，包括用于最大材料对比度的背散射电子 (BSE) 成像、用于组成信息的能量色散光谱 (EDS) 以及用于微观结构和晶体学信息的电子背散射衍射 (EBSD)。与 Thermo Scientific Avizo 软件组合使用后，Scios 2 DualBeam 可为纳米级的高分辨率、高级 3D 表征以及分析提供独特的工作流程解决方案。

以超高分辨率提供完整的样品信息

创新的 NICol 电子色谱柱为系统的高分辨率成像和检测能力提供了基础。它适用于多种工作条件，无论是在 30 keV 的 STEM 模式下（访问结构信息）还是以较低能量（获得无电荷的详细表面信息）运行，都可以提供出色的纳米级细节。Scios 2 DualBeam 具有独特的镜筒内 Thermo Scientific Trinity 检测系统，专用于同时采集角和能量选择二级电子 (SE) 以及 BSE 成像数据。不仅可以快速访问从上到下的详细纳米级信息，还可快速访问倾斜的样品或交叉切片的信息。可选配的透镜下检测器和电子束减速模式可以快速、便捷地同时采集所有信号，揭示材料表面或交叉切片中最小的特征。借助独特的、具有全自动对齐功能的 NICol 色谱柱，可获得快速、准确、可重现的结果。

快速、便捷地制备高质量 TEM 样品

科学家和工程师不断面临新的挑战、需要对越来越复杂的样品的更小特征进行高度局部表征。Scios 2 DualBeam 的最新技术创新与可选、易用和全面的 Thermo Scientific AutoTEM 4 软件以及赛默飞世尔科技的应用专业知识相结合后，可支持客户快速方便地制备用于多种材料的 自定义高分辨率 S/TEM 样品。为了获得高质量结果，需要使用低能量离子进行最终抛光，以尽可能减少对样品表面的损坏。Thermo Scientific Sidewinder HT 聚焦离子束 (FIB) 镜筒不仅能够在高电压下具有高分辨率成像和铣削能力，还具有良好的低电压性能，能够创建高质量的 TEM 薄片。

聚焦离子束扫描电子显微镜，用于超高分辨率、高质量样品制备和 3D 表征。

使用 Sidewinder HT 离子柱获得高质量、现场特定的 TEM 和原子探针样品。

使用在最广泛的样品范围（包括磁性和非导电材料）内具有一流性能的 Thermo Scientific NICol 电子色谱柱。

通过各种集成式色谱柱内和透镜下检测器获得清晰、精确和无电荷的对比度。

高质量、多模式亚表面和 3D 信息

使用可选配的 AS&V4 软件，通过精确靶向感兴趣区域来获得高质量、多模式亚表面和 3D 信息。

高度灵活的 110 mm 载物台和腔室内 Thermo Scientific Nav-Cam 摄像机允许根据具体应用需求进行定制。

具有专用模式，如 DCFI、漂移抑制和 Thermo Scientific SmartScan 模式。

灵活的 DualBeam 配置，包括可选配的最高 500 Pa 腔室压力低真空模式，可满足具体的应用要求。

最佳 WD 在 30 keV STEM 下为 0.7 nm 在 1 keV 下为 1.4 nm 在 1 keV（射束减速）下为 1.2 nm

在 30 keV STEM 下为 0.7 nm

在 1 keV 下为 1.4 nm

在 1 keV（射束减速）下为 1.2 nm

电子束电流范围：1 pA 至 400 nA

着陆能量范围：20* eV – 30 keV

加速电压范围：200 V – 30 kV

最大水平射野宽度：7 mm WD 时为 3.0 mm，60 mm WD 时为 7.0 mm

可通过标准导航剪辑提供超宽视野 (1×)

加速电压：500 V – 30 kV

电子束电流范围：1.5 pA – 65 nA

漂移抑制模式，为非导电样品的标准模式

最小离子源寿命：1,000 小时

离子束分辨率：选择角方法下 30kV 时为 3.0 nm

Trinity 检测系统（镜筒内和色谱柱内） T1 分段式下镜筒内检测器 T2 上镜筒内检测器 T3 可伸缩色谱柱内检测器（可选配） 多达 4 个同时检测的信号

T1 分段式下镜筒内检测器

T3 可伸缩色谱柱内检测器（可选配）

多达 4 个同时检测的信号

Everhart-Thornley SE 检测器 (ETD)

用于二级离子 (SI) 和二级电子 (SE) 的高性能离子转换和电子检测器 (ICE)（可选配）

可伸缩、低电压、高对比度、分段式、固态反向散射电子检测器 (DBS)（可选配）