超高分辨肖特基场发射扫描电子显微镜SU8700
FE-SEM旗舰型号,兼顾高分辨观察与大电流分析能力。
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| 电子枪 | 肖特基电子枪 |
|---|---|
| 二次电子像分辨率 | 0.6 nm@15 kV;0.9 nm@1 kV |
| 放大倍率 | 20 to 2,000,000 x |
| 加速电压 | 0.5 to 30 kV |
| 着陆电压 | 0.01 to 20 kV |
| 样品台 | 5轴马达驱动(X/Y/R/Z/T) |
| 样品尺寸 | 最大直径:150 mm |
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