CS-100 Series
CS-100 Series
CS-100 系列为半导体制程各种清洗和刻蚀工艺的药液提供完整的、高精度的化学药液浓度计。规格参数 Model name CS-100 Measurement principle Absorption spectroscopic method Sample temperature 20 to 30 Degree C Ambient temperatur
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产品说明
CS-100 系列为半导体制程各种清洗和刻蚀工艺的药液提供完整的、高精度的化学药液浓度计。
规格参数
| Model name | CS-100 |
|---|---|
| Measurement principle | Absorption spectroscopic method |
| Sample temperature | 20 to 30 Degree C |
| Ambient temperature | 20 to 25 Degree C |
| Components | Max. 4 components |
| Chemical range | Max. 4 ranges |
| Communication | Parallel I/O, Analog output, RS-232C |
| Analog output (4-20 mA) | Max. 2 components |
| Dimension | 205(W) X 329(D) X 269(H)mm |
| Power source | DC 24V |
| Consumable parts | Halogen lamp |
| Wavelength | UV/NIR |
| Wetted material | PTFE, PFA, Sapphire or Quartz |
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