HE-960H-TM-S
HE-960H-TM-S
可准确测量 TMAH（四甲基氢氧化铵）的浓度。TMAH 是半导体制程中光刻胶显影液的主要成分。重复性：+/- 0.003% 内。
广西科米瑞实验仪器设备有限公司生产销售 HORIBA HE-960H-TM-S，可提供产品参数、报价和售后服务咨询，价格面议。
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产品说明
可准确测量 TMAH（四甲基氢氧化铵）的浓度。TMAH 是半导体制程中光刻胶显影液的主要成分。重复性：+/- 0.003% 内。
规格参数
| Model name | HE-960H-TM-S |
|---|---|
| Target of measurement | TMAH |
| Measurement range | Concentration: 0 - 3%, Conductivity: 0 - 1000mS/cm |
| Repeatability | Within +/- 0.003wt% (Temperature variation less than +/- 0.5℃, using equivalent input for conductivity) |
| Linearity | Within +/- 0.003wt% (Using equivalent input for conductivity) |
| Transmission output | Number of output: 4 |
| Contact output | Outputs: 5 points |
| Communication output | RS-485 |
| Power supply | 24V DC +/- 10% 10W |
| Compatible sensor | FES-510 Series |
| Wetted material of sensor | GC, PFA, Karletz® |
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