MiPLATO-SiC
MiPLATO-SiC
规格参数。扫描方式 1800 RPM 螺旋扫描 激光 20mW 355nm CW 激光器 * 表面光斑尺寸: 直径2um（50x 物镜） 探测器 4 个 PMT，1 个光谱仪 平台 XY 轴线性平台 1800 RPM（最大）R 轴平台 测量 PMT 1 / 采用 355 nm 激光的 DIC 技术用于表面检测 PMT 2,3,4 PL 通道2
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产品说明
MiPLATO-SiC
规格参数
| 扫描方式 | 1800 RPM 螺旋扫描 |
|---|---|
| 激光 | 20mW 355nm CW 激光器 * 表面光斑尺寸: 直径2um（50x 物镜） |
| 探测器 | 4 个 PMT，1 个光谱仪 |
| 平台 | XY 轴线性平台 1800 RPM（最大）R 轴平台 |
| 测量 | PMT 1 / 采用 355 nm 激光的 DIC 技术用于表面检测 |
| PMT 2,3,4 | PL 通道2 (PMT 2): 基于 390nm 带通滤光片的 PL 检测 PL 通道3 (PMT 3): 420 nm ~ 500 nm （默认），用户可在此范围内选择带通滤光片 PL 通道4 (PMT 4): 基于 540nm 带通滤光片的 3C 三角形缺陷检测 |
| CCD 相机 | 分析过程中对指定位置进行图像拍摄 |
| 光谱仪 | 光谱范围: 380nm – 700nm 详细缺陷分析，Micro 晶圆深层扫描成像 |
| 测量速度 | 4 英寸 / 6 英寸 |
| PMT 扫描成像（4 通道同时，5 μm 步进） | 8 pcs / 1h / 6 pcs / 1h |
| 16 pcs / 2h | 12 pcs / 2h |
| 光谱扫描成像 (3 mm 步进) | 7 pcs /h (PMT: 5 μm / 光谱: 2 mm ) / 7 pcs /h (PMT: 5 μm / 光谱: 4 mm ) |
| 尺寸 (mm) | 2000 (w) x 1400 (d) x 2000 (h) |
| 操作环境 | 洁净室等级 / class ~ 10000 |
| 温度 | 15 ~ 35° C |
| 湿度 | < 85 % RH，无水凝 |
| Utility | 尺寸 / 1500 mm x 2000 mm x 2300 mm, 包含 HEPA 过滤器 |
| 重量 | 1760 kg |
| 输入电压 | 220 V± 10 % 50 / 60 Hz 单相 |
| 额定负载电流 | 47 A |
| 真空 1 | 40 L / min, -80 KPa 管道尺寸：外径 6 mm |
| 真空 2 | 120 L/min, -40 Kpa 管道尺寸：外径 6mm |
| 空气 | 90 L/min, 0.5 MPa 管道尺寸：外径 6 mm |
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