椭圆偏振光谱仪
椭圆偏振光谱仪是一种无损无接触的表面分析工具。可获得各类材料的膜层厚度、折射率和消光系数等。根据材料不同,测试厚度从几个埃到几十微米。常用于半导体、电介质、聚合物、有机物及金属等。
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椭圆偏振光谱仪是一种无损无接触的表面分析工具。可获得各类材料的膜层厚度、折射率和消光系数等。根据材料不同,测试厚度从几个埃到几十微米。常用于半导体、电介质、聚合物、有机物及金属等。
| 型号/名称 | 椭圆偏振光谱仪 |
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