软X射线光谱仪
软X射线光谱仪
( SXES:Soft X-Ray Emission Spectrometer ) 通过组合新开发的衍射光栅和高灵敏度Ｘ射线CCD相机，实现了极高的能量分辨率。和EDS一样可以并行检测，并且能以0.3eV(费米边处Al-L基准)的极高能量分辨率进行分析，超过了WDS的能量分辨率。
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软X射线光谱仪 ( SXES:Soft X-Ray Emission Spectrometer ) 通过组合新开发的衍射光栅和高灵敏度Ｘ射线CCD相机，实现了极高的能量分辨率。和EDS一样可以并行检测，并且能以0.3eV(费米边处Al-L基准)的极高能量分辨率进行分析，超过了WDS的能量分辨率。
软X射线光谱仪 ( SXES:Soft X-Ray Emission Spectrometer ) 通过组合新开发的衍射光栅和高灵敏度Ｘ射线CCD相机，实现了极高的能量分辨率。和EDS一样可以并行检测，并且能以0.3eV ( 费米边处Al-L基准 ) 的极高能量分辨率进行分析，超过了WDS的能量分辨率。
1. 强大的分析能力
强大的分析能力
能检测出金属Li
2. SXES、WDS、EDS的比较
SXES-ER
金属Li检测
过渡金属价态分析
多种元素并行检测
检测限 ( 以B作為參考值 )
100ppm
5000ppm
3. 可以装在电子探针EPMA和SEM上
访日本东北大学多元物质科学研究所 尖端计测开发中心电子衍射、分光计测研究领域
寺内正己 教授
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