IB-19520CCP 冷冻截面抛光仪

IB-19520CCP在加工过程中利用液氮冷却，能减轻离子束对样品造成的热损伤。冷却持续时间长、液氮消耗少的构造设计。在装有液氮的情况下，也能将样品快速冷却、恢复到室温，并且可以拆卸。配有传送机构，在隔离空气的环境下能完成从加工到观察的全过程。

IB-19520CCP在加工过程中利用液氮冷却，能减轻离子束对样品造成的热损伤。该设备冷却持续时间长、液氮消耗少；在装有液氮的情况下，也能将样品快速冷却、恢复到室温，并且可以拆卸。配有传送机构，在隔离空气的环境下能完成从加工到观察的全过程。

1. 冷却的效果

可提供500μm/h（8KV/2小时的平均值）的研磨速率。

Specimen: Galvanized iron steel

左图：Normal milling (without cooling)；右图：Cooled milling (holder temperature -120℃)；Accelerating voltage 4kV

※ 通常加工（无冷却）时，铁和锌的接合面上能够观察到间隙，而冷却加工时则没有间隙

2. 使用温度控制系统（选配件）冷却

使用温度控制系统（选配件）冷却

样品：硅晶片接合面

左1：Normal milling (without cooling)；中间图：Cooling (holder temperature -150℃)；右图：Cooling temperature control (holder temperature -20℃)；Accelerating voltage 6kV

※ 常规加工由于热损伤造成粘合剂变形，出现了很大的间隙。-150 ℃时，冷却过度，能观察到胶粘剂和硅晶片研磨面的接合面上出现了间隙，但通过温度控制冷却则没有间隙。

3. 合理利用间歇加工、冷却功能和温度控制冷却功能可支持各种样品的制备

合理利用间歇加工、冷却功能和温度控制冷却功能可支持各种样品的制备

4. 进程监控功能

进程监控功能

截面加工状态可通过CCD相机实时监控，倍率还可调整。

5. 防止充放电的喷镀功能

防止充放电的喷镀功能

备有离子束溅射功能（选配项）可以喷涂颗粒感良好的薄涂层。最适合于象EBSD等需要花样识别等情况。