JBX-9500FS 电子束光刻系统
JBX-9500FS
JBX-9500FS是一款100kV圆形束电子束光刻系统，兼具世界最高水平的产出量和定位精度，最大能容纳300mmφ的晶圆片和6英寸的掩模版，适合纳米压印、光子器件、通信设备等多个领域的研发及生产。
广西科米瑞实验仪器设备有限公司生产销售 JEOL JBX-9500FS，可提供产品参数、报价和售后服务咨询，价格面议。
← 返回产品列表
JBX-9500FS是一款100kV圆形束电子束光刻系统，兼具世界最高水平的产出量和定位精度，最大能容纳300mmφ的晶圆片和6英寸的掩模版，适合纳米压印、光子器件、通信设备等多个领域的研发及生产。
1. 由于具有100MHz的最快扫描速度，场尺寸在1000µm×1000µm时的套刻精度达到 ±11nm、场拼接精度为 ±10nm、写场内位置精度达 ±9nm，是兼具世界最高水准产出率和位置精度的100kV圆形束光刻系统。
2. 由于采用的位置偏转DAC为20位，扫描DAC为14位，能获得0.25nm的扫描步距，分辨率更高，描画数据增长1nm，可以更忠实地再现描画数据。
3. 最快达到100ＭＨｚ的高速化扫描速度，保证了大电流描画时的扫描步距很短，因而能提高对精度要求极高的图形描画的产出量。
4. 由激光束控制（LBC）的0.15nm（λ/4096）的最小定位单位及高分辨率，达到了世界最高水准的位置精度。
5. 本公司独自的自动校正功能(自动补偿功能)，实现了可信赖的长时间稳定地描画。自动补偿可以根据时间（任意的）、场和图形进行分别设定，非常适合于周末及休假等无人值守等情况下的长时间描画。
6. 该系统最大能容纳300mmφ的晶圆片和6英寸的光掩模版，适合于纳米压印、光子器件、通信设备等各种领域的研发及生产。采用材料卡匣传送系统（选配），最多可装载10个卡匣。
7. 利用微间距控制程序（场尺寸微调程序）可以制作DFB激光器等的啁啾光栅。
日本电子株式会社 半导体设备营业部
JEOL Ltd. SE Department EB Sales Group
〒196-8558 3-1-2 Musashino, Akishima, Tokyo
TEL：+81-42-542-2383
提交需求
请填写必填信息，我们将在工作日尽快回复。