反射电子捕集器

电子束蒸镀过程中，照射到蒸镀材料的电子束的一部分成为反射电子（后方散乱电子）被放射出来，到达基板后会对基板造成伤害，并且与基板温度上升和膜的附着性降低有一定的关联。反射电子捕集器是一款与电子枪组合以后可以有效减少反射至基板的反射电子量的设备，也可以用于对既有蒸镀设备的后期改装。

电子束蒸镀过程中，照射到蒸镀材料的电子束的一部分成为反射电子（后方散乱电子）被放射出来，到达基板后会对基板造成伤害，并且与基板温度上升和膜的附着性降低有一定的关联。反射电子捕集器是一款与电子枪组合以后可以有效减少反射至基板的反射电子量的设备，也可以用于对既有蒸镀设备的后期改装。

减少反射电子，会有以下的功效：

・ 可以有效抑制基板温度的上升。适用于在抗腐蚀区域上进行蒸镀的脱膜工序。

・ 适用于容易受到反射电子伤害的基板和薄膜镀膜。

・ 可以有效提高附着性。

反射电子的特征和影响

1. 反射电子的特征

反射电子的特征

* 所附带的能量基本与入射能量相同；

* （平均）原子序数越大放出比也越大；

* 放出角度受到入射电子束角度极大的影响。

2. 反射电子的影响

反射电子的影响

降低入射的反射电子

抑制反射电子的数据

电子束照射（加速电压 -6 kV，Emission电流 100mA）材料钨，通过测量基板伞架的电流来测定反射电子的量。

【测定条件】

加速电压：6kV，入射电流：100mA，照射材料：钨，真空室直径：1300mm，T-S间距：1100mm

反射电子捕集器的效果 - 抑制基板温度上升 -