JBX-A9 系列 电子束光刻系统
JBX-A9
一款100kV圆形电子束光刻系统,兼具高水平的精度刻写和产能,最大能容纳300mmφ的晶圆片和9英寸的掩模版,适合纳米压印、光子器件、通信设备等多个领域的研发及生产。
广西科米瑞实验仪器设备有限公司生产销售 JEOL JBX-A9,可提供产品参数、报价和售后服务咨询,价格面议。
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一款100kV圆形电子束光刻系统,兼具高水平的精度刻写和产能,最大能容纳300mmφ的晶圆片和9英寸的掩模版,适合纳米压印、光子器件、通信设备等多个领域的研发及生产。
最新高精密 JBX-A9系列电子束光刻系统,是一款100kV圆形电子束光刻系统,兼具高水平的精度刻写和产能,最大能容纳300mmφ的晶圆片和9英寸的掩模版,适合纳米压印、光子器件、通信设备等多个领域的研发及生产。
1. 兼具高精度刻写和高产能
2. 稳定的电子光学系统
3. 最大可对应300mm晶圆片
4. 可对应300mm晶圆片FOUP
5. 可与自动显影机等其他产品联机
6. 与本公司以往机型相比低能耗
7. 可操作性强,提升用户使用体验
日本电子株式会社 半导体设备营业部
JEOL Ltd. SE Department EB Sales Group
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