JAMP-9510F 场发射俄歇电镜

俄歇电镜采用了一种以法国科学家 P. Auger命名的分析技术。它结合了俄歇电子能谱（AES）、离子溅射和二次电子成像，能够确定固体表面的二维和三维元素分布。该仪器的空间分辨率非常高。

这是一款高规格的俄歇电子能谱仪，配备半球形分析器，可对微米至纳米区域的化学键合状态进行高通量分析；配备场发射电子枪，能提供大而稳定的电流，可用于电子探针微区分析。高精度的等中心样品台使得此前无法实现的绝缘体分析成为可能。再加上浮动式离子枪，能够处理任何样品，如金属和绝缘材料，获取成分信息和化学信息，具有极高的灵活性。

1. 光谱成像

一种新开发的光谱成像方法能够获取图像中每个像素的电子光谱。在获取数据后，可以像 EDS 映射那样提取图像中选定区域的光谱和元素分布。光谱成像方法通过在宽能谱范围内获取数据，避免了任何元素的遗漏，这与传统的 Auger 映射完全不同，在 Auger 映射中，需要提前指定要映射的元素。测量的能谱范围和能量分辨率与常规的宽谱获取一样可选。光谱成像不仅可用于元素分析，还可用于反射电子能量损失光谱（REELS）分析。

2. 标准谱图库和峰分解软件

提供包含 140 种材料的 500 多个光谱的标准光谱数据库。我们的峰分解软件能够轻松分离重叠的俄歇峰，并且只需点击一下即可进行复杂的化学状态分析。

1. 半导体器件

与诸如扫描电子显微镜能谱分析（SEM-EDS）和电子探针微区分析（EPMA）之类的 X 射线发射光谱法相比，俄歇电子能谱（AES）分析的空间分辨率非常高。AES 分析可用于高放大倍数视野下的元素分析。通过利用样品化学状态不同所导致的俄歇峰形状差异，还可以进行化学态成像。

2. 锂离子电池材料

AES 对锂的检测灵敏度很高，常用于锂离子电池材料的分析。由于相邻原子的电子参与了俄歇过程，AES 能够以良好的灵敏度检测出氧化锂和碳酸锂中的锂峰。利用光谱成像技术可以轻松实现锂的分布成像。

3. REELS 分析

反射电子能量损失谱（REELS）也是俄歇探针的一项重要应用。REELS 用于碳材料的分析，还用于评估宽带隙半导体和绝缘体的带隙大小。