Monochromated ARM200F 原子级分辨率单色化透射电子显微镜

装配有双Wien-filter 型能量单色器的JEM-ARM200F，实现了原子尺度下超高能量分辨EELS分析。

“NEOARM”配备的新型球差校正器ASCOR能够校正高阶像差（即6重像散，目前阻碍透射电镜分辨率进一步提高的最大障碍。），ASCOR和Cold-FEG的完美组合实现了从高加速电压到低加速电压下的高分辨率。

（1）双 Wien-filter "Spot-IN and Spot-Out system"

第一个Wien-filter和静电透镜在狭缝平面上产生能量色散为 12.3 μm/eV的聚焦。在此平面处，通过插入宽度从几微米到亚微米不等的狭缝对电子束进行单色化处理。第二个Wien-filter消除能量色散，并在出口平面上产生消色差且无像散的聚焦，从而在样品平面上形成圆形探针。因此，由于来自肖特基源的点状电子束在单色化处理后在出口处再次成为点状，我们将此单色器系统命名为“入射点状和出射点状系统”。

（2）先进的八极Wien-filter

先进的八极Wien-filter能够生成均匀的偶极场，同时避免因偶极场不均匀而引发的非预期六极场的产生。

（3）装在在肖特基源与加速器之间

由于加速器处于单色器之后，并且单色器的轴向电位始终保持不变，因此该配置适用于任意加速电压条件下的应用。Mukai M, et al.: (2014) , Ultramicroscopy 140: 37–43.

2. 能量分辨率

（1） 60kV和 200kV电压下不同狭缝宽度时的能量分辨率 (0.002 sec. and 0.1 sec. 采集)

Slit width

0.002sec.

0.1sec.

24 meV

28 meV

30 meV

40 meV

0.25μm

32 meV

45 meV