LazEdge 激光扫描电镜系统
LazEdge
“LazEdge”是一款将扫描电子显微镜与激光技术相结合的仪器，能够在电镜样品室内进行激光加工。该系统能够在高速、大面积加工基础上制备出高质量的截面样品，并将其无缝转移至后续分析中，如SEM观察、元素分析、晶体取向分析，整个过程无需暴露在外部环境。
广西科米瑞实验仪器设备有限公司生产销售 JEOL LazEdge，可提供产品参数、报价和售后服务咨询，价格面议。
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“LazEdge”是一款将扫描电子显微镜与激光技术相结合的仪器，能够在电镜样品室内进行激光加工。该系统能够在高速、大面积加工基础上制备出高质量的截面样品，并将其无缝转移至后续分析中，如SEM观察、元素分析、晶体取向分析，整个过程无需暴露在外部环境。
激光与SEM技术的结合，实现了高质量、大面积的截面加工和分析！
“LazEdge”是一款将JEOL的扫描电子显微镜（SEM）与滨松光子株式会社（Hamamatsu Photonics K.K.）专有的激光技术相结合的仪器，能够在电镜样品室内进行激光加工。
该系统能够在高速、大面积加工基础上制备出高质量的截面样品，并将其无缝转移至后续分析中，如SEM观察、元素分析、晶体取向分析，整个过程无需暴露在外部环境。因此，它可满足广泛的分析需求，包括金属样品分析、需要隔绝空气的电池分析，以及需要高速截面加工的半导体故障分析。
一． 具备高质量截面加工能力的飞秒激光SEM问世
1．样品室内高质量截面加工
通过将激光加工系统集成到SEM中，LazEdge利用专有的光学系统对激光束进行空间相位调制，从而在样品室内以高速实现大区域的高质量截面加工，并减少LIPSS（激光诱导周期性表面结构）的产生。如下面左图所示。
2．防止样品室污染
专有的屏蔽技术“LazEdge Shield”能够将加工过程中产生的碎屑的飞散降至最低，并实现不污染探测器、镜筒及样品室内壁的清洁加工。
3．激光截面加工 ⇔ SEM观察 无缝衔接操作
在SEM样品室内，即可实现加工与观察之间的快速切换（如上面右图所示）。仅通过激光加工就能获得可用于EBSD分析的高质量截面，并且通过自动重复加工与测量步骤，可实现三维EBSD分析。
二． 激光与SEM一体化，实现大面积快速加工和分析
使用大面积高速加工技术的金属样品分析示例：
在很短的加工时间内即可覆盖大面积区域。从大面积加工到EBSD图谱绘制，整个过程大约在一小时内完成。从加工到分析的操作无缝衔接，速度惊人。
样品：Mo 板，加工时间：约30分钟
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