NanoSpotlight System 纳米颗粒高效采样系统

超纯水内纳米颗粒物测试仪 气液两相流测试(气泡仪） 中文资料 英文资料 9410型纳米颗粒高效采样系统使用特殊的雾化器和冷凝技术高效收集UPW中的纳米颗粒 【应用范围】 ・UPW系统的污染测试 ・过滤器的维持测试 ・颗粒测量装置的校正 如果在半导体制造工艺中，测出数十个纳米级颗粒的话，则必须判定该颗粒的元素组成。当该颗粒的举动影响到半导体制造设备中的质量时，分析该污染颗粒的组成将了解现象的原因及解决方法。选用SEM或其它传统的分析方法，在25 mm过滤器上收集粒子所需时间较长（通常以周为单位），而长时间的分析操作势必影响生产运行。通常，NanoSpotLightTM在24小时内即可完成测定，堪称SEM的明智选择。Nano Spotlig系统中，使用纳米颗粒抽取器（Nano Particle Extractor, NPE, 图1)产生超纯水（UPW）的液滴分布。每个液滴干燥后的颗粒将导入纳米颗粒收集器（Nano Particle Collector, NPC 图2)中最后沉积在收集板上。可提供将直径为1英寸（25.4mm）的硅晶片或聚碳酸酯安装在SEM样品台上的收集板。(图3) 通过收集表面的进行导电涂层处理，SEM的操作技术人员，可在晶片的正中心处容易找到颗粒集聚点，并测量5nm的小颗粒。同时通过能量分散型X 线光谱仪（EDS/RDX）测量污染的元素组成。【应用实例】图4：离子交换树脂中的释放物的SEM/EDX分析 通过使用Nano SpotLight TM系统，从含有离子交换树脂释放出的成分元素的超纯水中抽取颗粒。通过纳米颗粒抽取器从水分中提取Ca，P和Na，通过纳米颗粒收集器沉积在SEM样品台上，使用SEM/EDX进行分析。新树脂设置时“典型的”颗粒形成的测绘，可以通过离子交换树脂的脱落特性及监测寿命预测的结果，获得有用的信息。