NEXIV VMZ-NWL200
NEXIV VMZ-NWL200
VMZ-NWL200 是集成影像测量系统 NEXIV 和晶圆加载器 NWL200 的自动晶圆测量系统。规格参数 设备：影像测量系统：NEXIV（VMZ-S3020 Type2、Type3、TypeTZ）；加载器：NWL200。晶圆尺寸：6、8 英寸（SEMI/JEIDA 标准）。兼容载具：6 英寸 PA182-60MB-06XX；8 英寸 PA1
广西科米瑞实验仪器设备有限公司生产销售 Nikon Instruments / Nikon Precision NEXIV VMZ-NWL200，可提供产品参数、报价和售后服务咨询，价格面议。
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VMZ-NWL200 是集成影像测量系统 NEXIV 和晶圆加载器 NWL200 的自动晶圆测量系统。
规格参数
- 设备：影像测量系统：NEXIV（VMZ-S3020 Type2、Type3、TypeTZ）；加载器：NWL200
- 晶圆尺寸：6、8 英寸（SEMI/JEIDA 标准）
- 兼容载具：6 英寸 PA182-60MB-06XX；8 英寸 PA192-80M-06XX（Entegris）
- 产量：25 片晶圆传输时间 6 分 45 秒，不包括测量时间
- 最低 L/S：500 线/毫米
- 工作环境温度：19-26 ℃
- 尺寸：4125 × 3040 mm
- 电源：AC100-120V/200-240V，50/60Hz
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