OAI Model 200 台式掩模对准机

Model 200

OAI Model 200 是高性能台式掩模对准机，面向研发或有限规模试生产的光刻对准曝光应用。设备采用 OAI 在光刻资本设备中使用的成熟组件。该机型可作为成本较低的高性能掩模对准平台

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