Model 200
OAI Model 200 是高性能台式掩模对准机,面向研发或有限规模试生产的光刻对准曝光应用。设备采用 OAI 在光刻资本设备中使用的成熟组件。该机型可作为成本较低的高性能掩模对准平台
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OAI Model 200 是高性能台式掩模对准机,面向研发或有限规模试生产的光刻对准曝光应用。
| 品牌 | OAI |
|---|---|
| 型号 | Model 200 |
| 产品类型 | Tabletop Mask Aligner |
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