ATH 1600 MT/1603 M
Pfeiffer Vacuum ATH 1600 MT/1603 M 涡轮分子真空泵,具备低噪低振、灵活兼容和磁悬浮免维护特点。
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Pfeiffer Vacuum,ATH 1600 MT/1603 M 为涡轮分子真空泵,噪声和振动水平低,适合半导体制造和分析仪器等振动敏感应用;兼容多种前级泵,MT 版本集成加热系统,磁悬浮技术使其无磨损件并降低颗粒污染。
产品类型:Turbomolecular vacuum pumps(涡轮分子真空泵)。
特征:低噪声和低振动;兼容多种前级泵;磁悬浮技术;无磨损件;维护需求低。
| 型号 | ATH 1600 MT/1603 M |
|---|---|
| 产品类别 | 涡轮分子真空泵 |
| 英文类型 | Turbomolecular vacuum pumps |
| 页面特征 | 低噪声和低振动;兼容多种前级泵;磁悬浮技术;无磨损件;维护需求低 |
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