飞行时间二次离子质谱仪（TOF- SIMS）

特征 先进的多功能TOF-SIMS更强大的微区分析能力，更加出色的分析精度 飞行时间二次离子质谱仪 ·最新一代TRIFT质量分析器，更好的质量分辨率 ·适用于绝缘材料的无人值守自动化多样品分析 ·独特的离子束技术 ·平行成像MS/MS功能，助力有机大分子结构分析 ·多功能选配附件 适用于各种形貌样品的TRIFT质量分析器 宽带通能量 宽立体接收角 一次离子源激发的二次离子会以不同角度和能量从样品表面飞出，特别是对于有高度差异和形貌不规则的样品，即使相同的二次离子在分析器中会存在飞行时间上的差异，因此导致质量分辨率变差，并对谱峰形状和背景产生影响。

TRIFT质量分析器可以同时对二次离子发射角度和能量进行校正，保证相同二次离子的飞行时间一致，所以TRIFT 兼顾了高质量分辨率和高检测灵敏度优势，而且对于不平整样品的成像可以减少阴影效应。

实现高精度分析的一次离子源 先进的离子束技术实现更高质量分辨 PHI nanoTOF 3+能够提供高质量分辨和高空间分辨的TOF-SIMS分析:在高质量分辨模式下，其空间分辨率优于500nm；

在高空间分辨模式下，其空间分辨模式优于50nm。通过结合高强度离子源、高精度脉冲组件和高分辨率质量分析器，可以实现低噪声、高灵敏度和高质量分辨率的测量;在这两种模式下，只需几分钟的测试时间，均可完成采谱分析。

前所未见的无人值守TOF-SIMS自动化多样品分析 适用于绝缘材料 PHI nanoTOF 3+搭载全新开发的自动化多样品分析功能，程序可根据样品导电性自动调整分析时所需的高度与样品台偏压，可以对包括绝缘材料在内的各类样品进行无人值守自动化TOF-SIMS分析。

整个分析过程非常简单，只需三步即可对多个样品进行表面或深度分析：①在进样室拍摄样品台照片; ②在进样室拍摄的照片上指定分析点; ③按下分析键，设备自动开始分析。过去，必须有熟练的操作人员专门操作仪器才能进行TOF-SIMS分析；

现在，无论操作人员是否熟练，都可以获得高质量的分析数据。标配自动化传样系统 PHI nanoTOF 3+配置了在XPS上表现优异的全自动样品传送系统：最大样品尺寸可达100 mmx100mm，而且分析室标配内置样品托停放装置; 结合分析序列编辑器(Queue Editor)，可以实现对大量样品的全自动连续测试。

新一代脉冲氩离子源 获得专利的自动荷电双束中和技术 TOF-SIMS测试的大部分样品为绝缘样品，而绝缘样品表面通常有荷电效应。PHI nanoTOF 3+采用自动荷电双束中和技术，通过同时发射低能量电子束和低能量氩离子束，可对任何类型和各种形貌的绝缘材料实现真正意义上的自动荷电中和，无需额外的人为操作。