线性压电柔性铰链平台

线性压电柔性铰链平台

压电柔性铰链线性平台

压电柔性铰链XY位移平台

PI的纳米定位平台和扫描器将纳米级精度分辨率和导向精度与最小串扰相结合。这使得其特别适用于计量学中的参考应用、微观过程、干涉测量或半导体芯片生产的检测系统。

带PICMA®压电陶瓷促动器驱动器和柔性铰链导向的线性压电平台可供货，行程长达1.5毫米。

P-753 LISA线性促动器和平台

位置动态稳定

P-752 高精度纳米定位平台

具有极其准确的导向的高动态稳定型压电陶瓷扫描器

P-750 压电陶瓷纳米定位系统

具有直接计量的高负载压电驱动纳米级定位系统

P-611.1 线性压电陶瓷定位系统

价格实惠的紧凑型线性定位系统

P-620.1 – P-629.1 PIHera压电陶瓷线性精密定位器

多种行程范围和轴配置

行程：50µm至1800µm

最大有效载荷：1kg

双向重复精度：达1nm

P-612.Z 压电陶瓷Z向位移台

紧凑型纳米定位器，带通孔

行程100µm

分辨率达0.2nm

线性误差0.2%

紧凑型：表面60mm×60mm

P-620.Z - P-622.Z PIHera垂直精密定位器

行程：达350µm

双向重复精度：1nm

P-733.Z 高动态Z向纳米定位器/扫描仪

直接位置测量和通光孔径

P-611.Z 压电Z向位移台

紧凑型纳米级定位器

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普爱纳米位移技术（上海）有限公司

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