A-123
运动平台尺寸210mm × 210mm。系列平台配备伺服驱动器线性电机，电机配置带预载的空气轴承和集成直线光栅尺。这类非接触式零件的组合形成了一个无摩擦运动平台，可提供超高的性能、质量和使用寿命
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← 返回产品列表运动平台尺寸210mm × 210mm
系列平台配备伺服驱动器线性电机，电机配置带预载的空气轴承和集成直线光栅尺。这类非接触式零件的组合形成了一个无摩擦运动平台，可提供超高的性能、质量和使用寿命。
高推动力直线电机可以在几毫秒内将平台驱动至最高速度，高承载能力轴承可支承重达60kg的有效载荷。该型号中的侧面相对、主动预载空气轴承设计可实现任意方向上的安装。
PIglide定位系统非常适合许多高精度应用，如半导体或平板显示器制造中的计量、光子学和精密扫描。
由于运动无摩擦，不会形成颗粒，PIglide平台非常适用于无尘室应用。
PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明，所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识 是指属性的统计平均值，并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中，我们只检测选定的属性，而不是全部属性。请注意，产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。
A-123 PIglide AT3 Motorized Linear Stage with Air Bearing Module and Encoder
PIglide AT3线性平台；空气轴承；行程为50mm；带正弦/余弦信号传输的增量直线光栅尺，传感器信号周期为20µm；无铁芯三相直线电机，48V
PIglide AT3线性平台；空气轴承；行程为50mm；带BiSS-C信号传输的绝对直线光栅尺，传感器分辨率为1nm；无铁芯三相直线电机，48V
PIglide AT3线性平台；空气轴承；行程为100mm；带正弦/余弦信号传输的增量直线光栅尺，传感器信号周期为20µm；无铁芯三相直线电机，48V
PIglide AT3线性平台；空气轴承；行程为100mm；带BiSS-C信号传输的绝对直线光栅尺，传感器分辨率为1nm；无铁芯三相直线电机，48V
PIglide AT3线性平台；空气轴承；行程为200mm；带正弦/余弦信号传输的增量直线光栅尺，传感器信号周期为20µm；无铁芯三相直线电机，48V
PIglide AT3线性平台；空气轴承；行程为200mm；带BiSS-C信号传输的绝对直线光栅尺，传感器分辨率为1nm；无铁芯三相直线电机，48V
PIglide AT3线性平台；空气轴承；行程为350mm；带正弦/余弦信号传输的增量直线光栅尺，传感器信号周期为20µm；无铁芯三相直线电机，48V
PIglide AT3线性平台；空气轴承；行程为350mm；带BiSS-C信号传输的绝对直线光栅尺，传感器分辨率为1nm；无铁芯三相直线电机，48V
| 型号 | A-123 |
|---|---|
| 运动 | A-123.050A1 A-123.050B1 A-123.100A1 A-123.100B1 A-123.200A1 A-123.200B1 A-123.350A1 A-123.350B1 A-123.500A1 A-123.500B1 A-123.750A1 A-123.750B1 公差 |
| 主动轴 | X X X X X X X X X X X X |
| X向上的行程 | 50 mm 50 mm 100 mm 100 mm 200 mm 200 mm 350 mm 350 mm 500 mm 500 mm 750 mm 750 mm |
| X向上的加速度，空载 | 30 m/s² 30 m/s² 30 m/s² 30 m/s² 30 m/s² 30 m/s² 30 m/s² 30 m/s² 30 m/s² 30 m/s² 30 m/s² 30 m/s² max. |
| X向上的最大速度，空载 | 1000 mm/s 1000 mm/s 1000 mm/s 1000 mm/s 1000 mm/s 1000 mm/s 1000 mm/s 1000 mm/s 1000 mm/s 1000 mm/s 1000 mm/s 1000 mm/s |
| Y向上的直线度误差（直线度） | ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.5 µm ± 0.5 µm ± 0.75 µm ± 0.75 µm ± 1.5 µm ± 1.5 µm max. |
| Z向上的直线度误差（平面度） | ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.5 µm ± 0.5 µm ± 0.75 µm ± 0.75 µm ± 1.5 µm ± 1.5 µm max. |
| 绕Y的角度误差（俯仰角） |
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| ± 5 µrad ± 5 µrad ± 5 µrad ± 5 µrad ± 7.5 µrad ± 7.5 µrad ± 7.5 µrad ± 7.5 µrad ± 10 µrad ± 10 µrad ± 12.5 µrad ± 12.5 µrad max. |
| 绕Z的角度误差（偏转角） | ± 5 µrad ± 5 µrad ± 5 µrad ± 5 µrad ± 7.5 µrad ± 7.5 µrad ± 7.5 µrad ± 7.5 µrad ± 10 µrad ± 10 µrad ± 12.5 µrad ± 12.5 µrad max. |
|---|
| 定位 | A-123.050A1 A-123.050B1 A-123.100A1 A-123.100B1 A-123.200A1 A-123.200B1 A-123.350A1 A-123.350B1 A-123.500A1 A-123.500B1 A-123.750A1 A-123.750B1 公差 |
|---|
| X向上的已校准定位精度 | ± 0.3 µm ± 0.3 µm ± 0.3 µm ± 0.3 µm ± 0.3 µm ± 0.3 µm ± 0.3 µm ± 0.3 µm ± 0.5 µm ± 0.5 µm ± 0.5 µm ± 0.5 µm typ. |
|---|
| X向上的未校准定位精度 | ± 1.5 µm ± 1.5 µm ± 1.5 µm ± 1.5 µm ± 2 µm ± 1.5 µm ± 3 µm ± 1.5 µm ± 3.5 µm ± 1.5 µm ± 5 µm ± 1.5 µm typ. |
|---|
| X向上的双向重复精度 | 0.2 µm 0.2 µm 0.2 µm 0.2 µm 0.2 µm 0.2 µm 0.2 µm 0.2 µm 0.2 µm 0.2 µm 0.2 µm 0.2 µm typ. |
|---|
| 参考点开关 | 编码器索引 — 编码器索引 — 编码器索引 — 编码器索引 — 编码器索引 — 编码器索引 — |
|---|
| 限位开关 | 霍尔效应 — 霍尔效应 — 霍尔效应 — 霍尔效应 — 霍尔效应 — 霍尔效应 — |
|---|
| 集成传感器 | 增量直线光栅尺 绝对式直线光栅尺 增量直线光栅尺 绝对式直线光栅尺 增量直线光栅尺 绝对式直线光栅尺 增量直线光栅尺 绝对式直线光栅尺 增量直线光栅尺 绝对式直线光栅尺 增量直线光栅尺 绝对式直线光栅尺 |
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| 传感器信号 | 正弦/余弦，1Vpp BiSS-C 正弦/余弦，1Vpp BiSS-C 正弦/余弦，1Vpp BiSS-C 正弦/余弦，1Vpp BiSS-C 正弦/余弦，1Vpp BiSS-C 正弦/余弦，1Vpp BiSS-C |
|---|
| 传感器信号周期 | 20 µm — 20 µm — 20 µm — 20 µm — 20 µm — 20 µm — |
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| 传感器分辨率 | 4.88 nm 1 nm 4.88 nm 1 nm 4.88 nm 1 nm 4.88 nm 1 nm 4.88 nm 1 nm 4.88 nm 1 nm |
|---|
| 驱动性能 | A-123.050A1 A-123.050B1 A-123.100A1 A-123.100B1 A-123.200A1 A-123.200B1 A-123.350A1 A-123.350B1 A-123.500A1 A-123.500B1 A-123.750A1 A-123.750B1 公差 |
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| 驱动类型 | 无铁芯三相直线电机 无铁芯三相直线电机 无铁芯三相直线电机 无铁芯三相直线电机 无铁芯三相直线电机 无铁芯三相直线电机 无铁芯三相直线电机 无铁芯三相直线电机 无铁芯三相直线电机 无铁芯三相直线电机 无铁芯三相直线电机 无铁芯三相直线电机 |
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| 标称电压 | 48 V 48 V 48 V 48 V 48 V 48 V 48 V 48 V 48 V 48 V 48 V 48 V |
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| 峰值电压 | 80 V 80 V 80 V 80 V 80 V 80 V 80 V 80 V 80 V 80 V 80 V 80 V |
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