A-311 带空气轴承的PIglide IS平面扫描仪

A-311.FXx、A-311.GXx，尺寸单位是mm

A-311.Axx、A-311.Bxx、A-311.Cxx、A-311.Dxx，尺寸单位为mm

带空气轴承的高精度PIglide IS XY 平面扫描仪采用扁平设计，可用于替代堆叠XY位移平台。高效、紧凑的设计安装空间有限，能够节省机械空间。

三相磁性直接驱动器在动力传动系统中未使用机械零件，其可直接将驱动力传输至运动平台，且无摩擦。驱动器可实现高速度和高加速度。无铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任务，因为其不会与永久性磁铁发生不良作用。这样即使在超低的速度下也能保持平稳的运行，同时，在高速状态下也不会产生振动。避免了控制的非线性行为并且每个位置都很容易控制。驱动力可任意设定。

利用来自知名制造商的数字控制器，可提供高级控制算法，以改善动态性和误差补偿。

PIglide过滤器和空气预处理器（行程范围高于300mm的型号需配备真空发生器的版本）。

PIglide定位系统特别适合高精度应用，例如检测系统、激光打标、显微镜或扫描。

关于直线度和角度误差的说明：取决于平台安装表面的平面度。

关于速度和加速度的说明: 可能会受到有效载荷、控制器或驱动性能的限制。

关于允许推力的说明：假设有效载荷的重心位于运动平台上方不超过50mm的位置。平台仅设计用于水平操作。

关于传感器分辨率的说明：假定4096x细分。有关其他因子的使用，请联系PI。

关于定位精度的说明：通过基于控制器的误差补偿，可获得改善的精度。为实现这些数值，平台须与PI控制器一同订购。

精度值取短时间段，不考虑平台上热漂移的长期影响。

关于Y轴移动质量的说明：数值包含上轴（X）

关于工作压力的说明：防止平台损坏，建议将空气压力传感器连接到控制器运动停止输入端。

如未有其他规定，所有规格适用每个轴。