A-311 带空气轴承的PIglide IS平面扫描仪
A-311
A-311.FXx、A-311.GXx，尺寸单位是mm。A-311.Axx、A-311.Bxx、A-311.Cxx、A-311.Dxx，尺寸单位为mm。带空气轴承的高精度PIglide IS XY 平面扫描仪采用扁平设计，可用于替代堆叠XY位移平台
广西科米瑞实验仪器设备有限公司提供 Physik Instrumente (PI) A-311 产品资料、选型咨询、供货报价和售后服务支持，价格面议。
← 返回产品列表Physik Instrumente (PI)A-311
说明
A-311.FXx、A-311.GXx，尺寸单位是mm
A-311.Axx、A-311.Bxx、A-311.Cxx、A-311.Dxx，尺寸单位为mm
带空气轴承的高精度PIglide IS XY 平面扫描仪采用扁平设计，可用于替代堆叠XY位移平台。高效、紧凑的设计安装空间有限，能够节省机械空间。
三相磁性直接驱动器在动力传动系统中未使用机械零件，其可直接将驱动力传输至运动平台，且无摩擦。驱动器可实现高速度和高加速度。无铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任务，因为其不会与永久性磁铁发生不良作用。这样即使在超低的速度下也能保持平稳的运行，同时，在高速状态下也不会产生振动。避免了控制的非线性行为并且每个位置都很容易控制。驱动力可任意设定。
利用来自知名制造商的数字控制器，可提供高级控制算法，以改善动态性和误差补偿。
PIglide过滤器和空气预处理器（行程范围高于300mm的型号需配备真空发生器的版本）。
PIglide定位系统特别适合高精度应用，例如检测系统、激光打标、显微镜或扫描。
关于直线度和角度误差的说明：取决于平台安装表面的平面度。
关于速度和加速度的说明: 可能会受到有效载荷、控制器或驱动性能的限制。
关于允许推力的说明：假设有效载荷的重心位于运动平台上方不超过50mm的位置。平台仅设计用于水平操作。
关于传感器分辨率的说明：假定4096x细分。有关其他因子的使用，请联系PI。
关于定位精度的说明：通过基于控制器的误差补偿，可获得改善的精度。为实现这些数值，平台须与PI控制器一同订购。
精度值取短时间段，不考虑平台上热漂移的长期影响。
关于Y轴移动质量的说明：数值包含上轴（X）
关于工作压力的说明：防止平台损坏，建议将空气压力传感器连接到控制器运动停止输入端。
如未有其他规定，所有规格适用每个轴。
规格
| 型号 | A-311 |
|---|---|
| 运动 | A-311.DA1 A-311.DB1 A-311.AA1 A-311.AB1 A-311.BA1 A-311.BB1 A-311.CA1 A-311.CB1 A-311.FB1 A-311.GB1 公差 |
| 主动轴 | X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y |
| X向的行程 | 50 mm 50 mm 100 mm 100 mm 150 mm 150 mm 200 mm 200 mm 300 mm 300 mm |
| Y向的行程 | 50 mm 50 mm 100 mm 100 mm 150 mm 150 mm 200 mm 200 mm 300 mm 400 mm |
| X向的加速度，空载 | 27.5 m/s² 27.5 m/s² 27.5 m/s² 27.5 m/s² 27.5 m/s² 27.5 m/s² 27.5 m/s² 27.5 m/s² 10 m/s² 10 m/s² max. |
| Y向的加速度，空载 | 15 m/s² 15 m/s² 13 m/s² 13 m/s² 11 m/s² 11 m/s² 10 m/s² 10 m/s² 10 m/s² 10 m/s² max. |
| X向的最大速度，空载 | 2000 mm/s 2000 mm/s 2000 mm/s 2000 mm/s 2000 mm/s 2000 mm/s 2000 mm/s 2000 mm/s 1000 mm/s 1000 mm/s |
| Y向的最大速度，空载 | 2000 mm/s 2000 mm/s 2000 mm/s 2000 mm/s 2000 mm/s 2000 mm/s 2000 mm/s 2000 mm/s 1000 mm/s 1000 mm/s |
| 正交性 | ± 12.5 µrad ± 12.5 µrad ± 12.5 µrad ± 12.5 µrad ± 12.5 µrad ± 12.5 µrad ± 12.5 µrad ± 12.5 µrad ± 10 µrad ± 25 µrad typ. |
| 直线度误差E_XY（直线度） | ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.5 µm ± 0.5 µm ± 1 µm ± 1 µm max. |
| 直线度误差E_YX（直线度） | ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.5 µm ± 0.5 µm ± 1 µm ± 1 µm max. |
| 直线度误差E_ZX（平面度） | ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.5 µm ± 0.5 µm ± 0.75 µm ± 0.75 µm ± 1.5 µm ± 1.5 µm max. |
| 直线度误差E_ZY（平面度） | ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.5 µm ± 0.5 µm ± 0.75 µm ± 0.75 µm ± 1.5 µm ± 1.5 µm max. |
| 角度误差E_AY（俯仰角） | ± 10 µrad ± 10 µrad ± 12.5 µrad ± 12.5 µrad ± 17.5 µrad ± 17.5 µrad ± 20 µrad ± 20 µrad ± 20 µrad ± 20 µrad max. |
| 角度误差E_BX（俯仰角） | ± 10 µrad ± 10 µrad ± 12.5 µrad ± 12.5 µrad ± 17.5 µrad ± 17.5 µrad ± 20 µrad ± 20 µrad ± 20 µrad ± 20 µrad max. |
| 角度误差E_CX（偏转角） | ± 5 µrad ± 5 µrad ± 5 µrad ± 5 µrad ± 7.5 µrad ± 7.5 µrad ± 10 µrad ± 10 µrad ± 10 µrad ± 10 µrad max. |
| 角度误差E_CY（偏转角） | ± 5 µrad ± 5 µrad ± 5 µrad ± 5 µrad ± 7.5 µrad ± 7.5 µrad ± 10 µrad ± 10 µrad ± 10 µrad ± 10 µrad max. |
| 定位 | A-311.DA1 A-311.DB1 A-311.AA1 A-311.AB1 A-311.BA1 A-311.BB1 A-311.CA1 A-311.CB1 A-311.FB1 A-311.GB1 公差 |
| X向的已校准定位精度 | ± 0.2 µm ± 0.2 µm ± 0.2 µm ± 0.2 µm ± 0.2 µm ± 0.2 µm ± 0.2 µm ± 0.2 µm ± 0.2 µm ± 0.2 µm typ. |
| X向的未校准定位精度 | ± 1 µm ± 1 µm ± 1.5 µm ± 1.5 µm ± 2 µm ± 2 µm ± 2.5 µm ± 2.5 µm — — typ. |
| Y向的已校准定位精度 | ± 0.2 µm ± 0.2 µm ± 0.2 µm ± 0.2 µm ± 0.2 µm ± 0.2 µm ± 0.2 µm ± 0.2 µm ± 0.2 µm ± 0.2 µm typ. |
| Y向的未校准定位精度 | ± 1 µm ± 1 µm ± 1.5 µm ± 1.5 µm ± 2 µm ± 2 µm ± 2.5 µm ± 2.5 µm — — typ. |
| X向的双向重复精度 | 0.1 µm 0.1 µm 0.1 µm 0.1 µm 0.1 µm 0.1 µm 0.1 µm 0.1 µm 0.1 µm 0.1 µm max. |
FAQ
相关产品
提交需求
请填写必填信息，我们将在工作日尽快回复。