A-523
A-523.25005B3，尺寸单位为mm。A-523是一款采用直接驱动方式的空气轴承Z向偏摆平台。该平台采用并联运动学多轴系统，可实现Z向以及偏摆运动。非接触式零件的组合形成了一个无摩擦运动平台，可提供高性能、高质量和长使用寿命
广西科米瑞实验仪器设备有限公司生产销售 Physik Instrumente (PI) A-523，可提供产品参数、报价和售后服务咨询，价格面议。
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A-523是一款采用直接驱动方式的空气轴承Z向偏摆平台。该平台采用并联运动学多轴系统，可实现Z向以及偏摆运动。该平台外形小巧，提供高精度。非接触式零件的组合形成了一个无摩擦运动平台，可提供高性能、高质量和长使用寿命。
若A-523与A-81x或A-82x系列控制器配套订购，PI将在带载条件下完成Z向位移台的配置与布线，并进行伺服调谐优化。您将获得一套开箱即用的完整定位系统。
该Z向偏摆台是晶圆检测、光纤定位、光学定位、平板显示器检测、无掩模光刻以及高亮度LED制造等高精度应用的佳选。其非接触式设计尤其适合无尘室应用。
A-814（四轴）、A-82x（4/6/8轴）
关于行程与旋转范围的说明：Z向行程与θX、θY向的旋转范围相互制约。表中的数值代表：当其余各轴均处于参考位置时，各轴可实现的最大行程。如果某一轴已达到其最大位置，则其他轴将无法继续运动。
关于加速度与速度的说明：所给数值适用于空载条件。
关于定位精度的说明：标定精度只能通过控制器执行的误差补偿来达到。为实现这些数值，平台须与PI控制器一同订购。精度值取短时间段，不考虑平台上热漂移的长期影响。
关于最小增量位移的说明：与系统稳定性（伺服抖动）直接相关；具体取决于所使用的伺服驱动器。使用ACS SPiiPlus控制器的ServoBoost 功能可提升位置稳定性。
关于额定/峰值电压与额定/峰值电流的说明：所给数值按每台电机计算。该平台包含三台电机。
关于允许推力的说明：假定空气轴承的工作压力为480kPa。平台仅设计用于水平操作。
关于工作压力的说明：为防止平台受损，建议将空气压力传感器连接到控制器的急停（E-Stop）输入端。
PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明，所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识 是指属性的统计平均值，并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中，我们只检测选定的属性，而不是全部属性。请注意，产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。
A-523 PIglide Z-Tip-Tilt Air Bearing Stage
带空气轴承的PIglide高精度Z向偏摆平台；无铁芯三相直线电机；行程为5mm；2° × 1.6°旋转角（θX×θY）；负载能力为80N；最大速度为200mm/s；绝对直线光栅尺，传感器分辨率为1nm，BiSS-C
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