F-131
F-131.3SD1，尺寸单位为毫米。光纤对准系统的基础是一个XYZ装置，包含三个用于粗略对准的M-111系列机动化线性平台和一个P-611NanoCube纳米定位器
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← 返回产品列表F-131.3SD1，尺寸单位为毫米。请注意，在图中使用逗号而非小数点。
光纤对准系统的基础是一个XYZ装置，包含三个用于粗略对准的M-111系列机动化线性平台和一个P-611NanoCube纳米定位器。机动化驱动器可实现更长行程，与此同时，NanoCube纳米定位器可确保快速扫描运动和精确定位。柔性铰链导向和全瓷绝缘PICMA促动器确保很长的使用寿命。所有驱动器都配备了位置传感器，因而能可靠防止与昂贵的硅晶片发生碰撞等。
光纤对准系统作为一个完整包装供货，配备必需的C-884.4DC和E-727.AS控制器，以及齐全的软件包，包含用于所有PI系统的启动和操作的PIMikroMove图形用户软件。
软件包中包含编程界面，以便用户将PI控制器集成至他们自己的用户程序中，使得定位系统的控制成为用户程序的一部分。界面支持所有常见编程语言，包括NI LabVIEW和Matlab。
此外，C-990.FA1软件也可以选购，使针对扫描的轴设置、扫描执行和结果显示变得极其方便。
硅光子学中的光学部件对准、光学部件质量鉴定
高度发达的扫描子程序直接集成在控制器中，用于控制P-611NanoCube纳米定位器。性能得到明显提升，集成更简易。这可以实现对所有以模拟量信号优化为基础的应用的理想化管理，例如光子学领域中的应用。
控制器通过模拟量输入直接接收光强信号。E-727.AS控制器控制NanoCube纳米定位器，配备一个极高分辨率和高动态的模拟量输入，从而快速精确地获取光信号、自动找到最大强度。
螺旋区域扫描500微米直径、20微米直线距离的扫描时间
螺旋区域扫描100微米直径、10微米直线距离的扫描时间
螺旋区域扫描10微米直径、1微米直线距离的扫描时间
工作温度范围，C-884.4DC控制器
工作温度范围，E-727.AS控制器
F-131.3SD1 X,Y,Z Alignment System
带区域扫描程序的E-727.AS数字多通道压电陶瓷控制器，用于硅光子学生产中的快速光学对准
具有应变片传感器/无传感器的P-611纳米级定位系统
| 型号 | F-131 |
|---|---|
| 运动和定位 | F-131.3SD1 单位 |
| 主动轴 | X、Y、Z |
| X、Y和Z向上的行程 | 15, 15, 15 毫米 |
| 典型最小位移 | 0.05 微米 |
| 设计分辨率 | 0.0069 微米 |
| 典型单向重复精度 | 0.25 微米 |
| X、Y、Z向上的典型空回 | 3 微米 |
| 最大速度 | 1.5 毫米/秒 |
| 传感器类型 | 旋转编码器 |
| 导向 | 滚珠导轨 |
| 驱动类型 | 直流齿轮电机 |
| X、Y、Z向上的闭环行程 | 100 微米 |
| 典型开环分辨率 | 0.2 纳米 |
| 典型闭环分辨率 | 1 纳米 |
| 典型线性误差，全行程范围内 | 0.1 % |
| 典型双向重复精度 | <10 纳米 |
| 传感器类型 | 应变片传感器 |
| 驱动类型 | PICMA |
| 校准 | F-131.3SD1 单位 |
| 螺旋区域扫描500微米直径、20微米直线距离的扫描时间 |
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| <10* 秒 |
| 螺旋区域扫描100微米直径、10微米直线距离的扫描时间 | <1* 秒 |
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| 螺旋区域扫描10微米直径、1微米直线距离的扫描时间 | <0.5* 秒 |
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| 机械特性 | F-131.3SD1 单位 |
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