L-306
可选配：用于直接位置测量的直线光栅尺。带皮带传动的折叠式驱动，Z向位移台结构紧凑。可安装在带M6 50mm×50mm连接网格的线性平台上（如L-406）。非接触式光学线性编码器以高精度直接在平台上测量位置，非线性效应、机械间隙或弹性形变不会对测量造成影响
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L-306，尺寸单位为mm。请注意，在图中使用逗号而非小数点。
带皮带传动的折叠式驱动，Z向位移台结构紧凑。可安装在带M6 50mm×50mm连接网格的线性平台上（如L-406）。
非接触式光学线性编码器以高精度直接在平台上测量位置，非线性效应、机械间隙或弹性形变不会对测量造成影响。
对于交叉滚柱导轨，滚珠导轨中的滚珠接触点被淬火滚柱的线接触所取代。因此，它们的刚度明显提高，需要的预载更小，这减少了摩擦并实现了更平滑的运行。交叉滚柱导轨还具有高导向精度和高负载能力的特征。力导向滚动体保持架防止保持架蠕变。
研究。半导体技术。光子 自动化。
C-885与C-663.12C885
C-885与C-863.20C885
PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明，所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识 是指属性的统计平均值，并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中，我们只检测选定的属性，而不是全部属性。请注意，产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。
带电动的定位器：DT-xx/HPS-170/L-xxx/LS-xxx/PRS-xxx/RS-40/UPL-120/VT-80/WT-xx/WT-xxx
紧凑型Z向定位器L-306.011100/011112/013112
紧凑型精密Z向位移台；两相步进电机；行程13mm；负载能力20N；最大速度5mm/s；滚珠丝杠；电缆长度0.5m
紧凑型精密Z向位移台；两相步进电机；行程13mm；负载能力20N；最大速度5mm/s；滚珠丝杠；增量直线光栅尺，传感器分辨率5nm，A/B正交，RS-422；电缆长度0.5m
紧凑型精密Z向位移台；直流电机；行程13mm；负载能力20N；最大速度5mm/s；滚珠丝杠；增量直线光栅尺，传感器分辨率50nm，A/B正交，RS-422；电缆长度0.5m
| 型号 | L-306 |
|---|---|
| 运动 | L-306.011100 L-306.011112 L-306.013112 公差 |
| 主动轴 | Z Z Z |
| Z向的行程 | 13 mm 13 mm 13 mm |
| Z向的最大速度，空载 | 5 mm/s 5 mm/s 5 mm/s |
| X向上的直线度误差 | ± 3 µm ± 3 µm ± 3 µm typ. |
| Y向上的直线度误差 | ± 3 µm ± 3 µm ± 3 µm typ. |
| 绕X的角度误差 | ± 150 µrad ± 150 µrad ± 150 µrad typ. |
| 绕Y的角度误差 | ± 175 µrad ± 175 µrad ± 175 µrad typ. |
| 定位 | L-306.011100 L-306.011112 L-306.013112 公差 |
| Z向的最小位移 | 2.5 µm 0.1 µm 0.1 µm typ. |
| Z向的单向重复精度 | ± 0.25 µm ± 0.05 µm ± 0.05 µm typ. |
| Z向的双向重复精度 | 4 µm 1 µm 1 µm typ. |
| 参考点开关 | 叉式光电传感器，常闭触点，5V，NPN 叉式光电传感器，常闭触点，5V，NPN 叉式光电传感器，常闭触点，5V，NPN |
| 限位开关 | 叉式光电传感器，常闭触点，5V，NPN 叉式光电传感器，常闭触点，5V，NPN 叉式光电传感器，常闭触点，5V，NPN |
| 集成传感器 | — 增量式直线光栅尺 增量式直线光栅尺 |
| 传感器信号 | — A/B正交，RS-422 A/B正交，RS-422 |
| 传感器分辨率 | — 5 nm 50 nm |
| 驱动性能 | L-306.011100 L-306.011112 L-306.013112 公差 |
| 驱动类型 | 两相步进电机 两相步进电机 直流电机 |
| Z向的正向运动的驱动力 | 20 N 20 N 20 N typ. |
| Z向的负向运动的驱动力 | 20 N 20 N 20 N typ. |
| 机械性能 | L-306.011100 L-306.011112 L-306.013112 公差 |
| Y向的允许推力 | 10 N 10 N 10 N max. |
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