L-511
采用循环滚珠轴承导轨，可实现高运动精度和负载能力。基础型材由应力消除铝制成，具有高稳定性。非接触式光学直线光栅尺以超高的精度直接测量平台的位置。不同的电机加不同的编码器可实现独特的应用
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← 返回产品列表采用循环滚珠轴承导轨，可实现高运动精度和负载能力
基础型材由应力消除铝制成，具有高稳定性
非接触式光学直线光栅尺以超高的精度直接测量平台的位置。
不同的电机加不同的编码器可实现独特的应用
由L-511（水平）和L-509（垂直）精密平台组成的多轴装置
L-511配备直线光栅尺，能够可靠地执行可重复的20nm步进。
L-511.0xx111，尺寸单位为mm
L-511.0xx132，尺寸单位为mm
L-511.xxDG10，尺寸单位为mm
L-511.xxSD00，尺寸单位为mm
L-511和L-509精密平台可在不使用接装板的情况下进行组合以实现多轴定位
借助循环滚珠轴承导轨，可实现高运动精度和有效载荷。精密滚珠丝杠，螺距为2mm。消除应力的铝基座可实现高稳定性。非接触式光学限位开关。位于行程中点带方向感应的非接触式光学参考点开关。行程范围为52至155mm（2"至6"）。
带减速齿轮的直流伺服电机在电机功率低时可实现高转矩和高分辨率
无刷直流电动机：适用于高占空比应用。使用正弦换向控制器，即使在极低的速度下依然可以实现异常平稳的同步运动和低振动。
非接触式光学直线光栅尺以超高的精度直接测量平台的位置。非线性效应、机械游隙或弹性形变不会对测量造成影响。
自动聚焦。激光切割。研究。生物技术。自动化。光学对准。
| 型号 | L-511 |
|---|---|
| 主动轴 | X X X X X X X X X X X X X X X X X X X X X |
| X向上的行程 | 52 mm 102 mm 155 mm 52 mm 102 mm 155 mm 52 mm 102 mm 155 mm 52 mm 102 mm 155 mm 52 mm 102 mm 155 mm 52 mm 102 mm 155 mm 52 mm 102 mm 155 mm |
| X向上的最大速度，空载 | 90 mm/s 90 mm/s 90 mm/s 90 mm/s 90 mm/s 90 mm/s 90 mm/s 90 mm/s 90 mm/s 90 mm/s 90 mm/s 90 mm/s 6 mm/s 6 mm/s 6 mm/s 45 mm/s 45 mm/s 45 mm/s 45 mm/s 45 mm/s 45 mm/s |
| Y向上的直线度误差（直线度） | ± 1.5 µm ± 2.5 µm ± 3 µm ± 1.5 µm ± 2.5 µm ± 3 µm ± 1.5 µm ± 2.5 µm ± 3 µm ± 1.5 µm ± 2.5 µm ± 3 µm ± 1.5 µm ± 2.5 µm ± 3 µm ± 1.5 µm ± 2.5 µm ± 3 µm ± 1.5 µm ± 2.5 µm ± 3 µm typ. |
| Z向上的直线度误差（平面度） | ± 1.5 µm ± 2.5 µm ± 3 µm ± 1.5 µm ± 2.5 µm ± 3 µm ± 1.5 µm ± 2.5 µm ± 3 µm ± 1.5 µm ± 2.5 µm ± 3 µm ± 1.5 µm ± 2.5 µm ± 3 µm ± 1.5 µm ± 2.5 µm ± 3 µm ± 1.5 µm ± 2.5 µm ± 3 µm typ. |
| 绕Y的角度误差（俯仰角） | ± 40 µrad ± 60 µrad ± 70 µrad ± 40 µrad ± 60 µrad ± 70 µrad ± 40 µrad ± 60 µrad ± 70 µrad ± 40 µrad ± 60 µrad ± 70 µrad ± 40 µrad ± 60 µrad ± 70 µrad ± 40 µrad ± 60 µrad ± 70 µrad ± 40 µrad ± 60 µrad ± 70 µrad max. |
| 绕Z的角度误差（偏转角） | ± 40 µrad ± 60 µrad ± 70 µrad ± 40 µrad ± 60 µrad ± 70 µrad ± 40 µrad ± 60 µrad ± 70 µrad ± 40 µrad ± 60 µrad ± 70 µrad ± 40 µrad ± 60 µrad ± 70 µrad ± 40 µrad ± 60 µrad ± 70 µrad ± 40 µrad ± 60 µrad ± 70 µrad max. |
| X向上的最小位移 | 0.1 µm 0.1 µm 0.1 µm 0.1 µm 0.1 µm 0.1 µm 0.2 µm 0.2 µm 0.2 µm 0.2 µm 0.2 µm 0.2 µm 0.1 µm 0.1 µm 0.1 µm 0.2 µm 0.2 µm 0.2 µm 0.02 µm 0.02 µm 0.02 µm typ. |
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| X向上的未校准定位精度 | ± 5.5 µm ± 7.5 µm ± 11 µm ± 5.5 µm ± 7.5 µm ± 11 µm ± 6 µm ± 12 µm ± 18 µm ± 6 µm ± 12 µm ± 18 µm ± 6 µm ± 12 µm ± 18 µm ± 10 µm ± 15 µm ± 20 µm ± 5.5 µm ± 7.5 µm ± 11 µm max. |
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| X向上的单向重复精度 | ± 0.15 µm ± 0.15 µm ± 0.15 µm ± 0.15 µm ± 0.15 µm ± 0.15 µm ± 0.3 µm ± 0.3 µm ± 0.3 µm ± 0.3 µm ± 0.3 µm ± 0.3 µm ± 0.3 µm ± 0.3 µm ± 0.3 µm ± 0.3 µm ± 0.3 µm ± 0.3 µm ± 0.15 µm ± 0.15 µm ± 0.15 µm max. |
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| X向上的双向重复精度 | 0.6 µm 0.6 µm 0.6 µm 0.6 µm 0.6 µm 0.6 µm 2 µm 2 µm 2 µm 2 µm 2 µm 2 µm 3.2 µm 3.2 µm 3.2 µm 3 µm 3 µm 3 µm 0.6 µm 0.6 µm 0.6 µm max. |
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| X向上的空回 | — — — — — — — — — — — — — — — 1 µm 1 µm 1 µm — — — typ. |
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| 参考点开关 | 光学 光学 光学 光学 光学 光学 光学 光学 光学 光学 光学 光学 光学 光学 光学 光学 光学 光学 光学 光学 光学 |
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| 限位开关 | 光学 光学 光学 光学 光学 光学 光学 光学 光学 光学 光学 光学 光学 光学 光学 光学 光学 光学 光学 光学 光学 |
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| 集成传感器 | 增量直线光栅尺 增量直线光栅尺 增量直线光栅尺 增量直线光栅尺 增量直线光栅尺 增量直线光栅尺 增量旋转编码器 增量旋转编码器 增量旋转编码器 增量旋转编码器 增量旋转编码器 增量旋转编码器 增量旋转编码器 增量旋转编码器 增量旋转编码器 — — — 增量直线光栅尺 增量直线光栅尺 增量直线光栅尺 |
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| 传感器信号周期 | — — — 20 µm 20 µm 20 µm — — — — — — — — — — — — — — — |
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| 传感器分辨率 | — — — — — — — — — — — — — — — — — — 5 nm 5 nm 5 nm |
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| 电机编码器：传感器信号 | — — — A/B正交，RS-422 A/B正交，RS-422 A/B正交，RS-422 — — — — — — — — — — — — — — — |
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| 分辨率，电机编码器 | — — — 20000 步/圈 20000 步/圈 20000 步/圈 — — — 20000 步/圈 20000 步/圈 20000 步/圈 — — — — — — — — — |
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| 电机编码器 | — — — 增量旋转编码器 增量旋转编码器 增量旋转编码器 — — — 增量旋转编码器 增量旋转编码器 增量旋转编码器 — — — — — — — — — |
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| 传感器分辨率 | — — — — — — 20000 步/圈 20000 步/圈 20000 步/圈 20000 步/圈 20000 步/圈 20000 步/圈 4096 步/圈 4096 步/圈 4096 步/圈 — — — — — — |
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| 驱动类型 | 直流电机 直流电机 直流电机 无刷直流电机 无刷直流电机 无刷直流电机 直流电机 直流电机 直流电机 无刷直流电机 无刷直流电机 无刷直流电机 直流齿轮电机 直流齿轮电机 直流齿轮电机 两相步进电机 两相步进电机 两相步进电机 两相步进电机 两相步进电机 两相步进电机 |
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| 标称电压 | 24 V 24 V 24 V 24 V 24 V 24 V 24 V 24 V 24 V 24 V 24 V 24 V 24 V 24 V 24 V 24 V 24 V 24 V 24 V 24 V 24 V |
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