L-611
L-611 V6 • V7 • V9 Precision Rotation Stage Suitable for Vacuum。L-611.991200V6,尺寸单位为毫米。请注意,在图中使用逗号而非小数点
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L-611.991300V7,尺寸单位为毫米。请注意,在图中使用逗号而非小数点。
L-611.991600V9,尺寸单位为毫米。请注意,在图中使用逗号而非小数点。
低游隙带预载蜗轮副实现精密定位。带预载枢轴承实现高运动精度。通光孔径直径为35毫米。双向旋转行程无限。参考点开关。
在这种情况下,使用适合高真空的特殊组件,如电机、测量系统和限位开关。此外,表面由无涂层铝制成,传动螺杆和导向装置由不锈钢制成。这样,PI V7真空等级就达到了,这意味着高达10 -7 百帕。
可按需提供用于摆动、轴向和径向蠕动的单独测量日志。请下单时标明。
最值得注意的是,对于导轨和传动螺杆的润滑,使用具有特别低除气的材料。因此,可承受温度高达80摄氏度。通过对PI V6真空等级的这一和其他修改,此定位器可以使用高达10 -6 百帕。
在此真空等级中,产品在所有细节上都进行了优化,并采用了适用于超高真空的组件,以便达到高达10 -9 百帕的PI V9真空等级。除其他外,只有选定类型的塑料用于此目的,使用测量系统时耐受温度为120摄氏度,不使用测量系统时耐受温度为150摄氏度。
真空室。研究. 高能束线设备. 显微镜. 电子元件组装和检验.
带C-663.12C885的C-885(多达20轴)
L-611 Precision rotation stage for vacuum applications (1 E-7 hPa)
L-611 Precision rotation stage for vacuum applications (1 E-6 hPa), with stepper drive
L-611 Precision rotation stage for vacuum applications (1 E-9 hPa)
带电动的定位器:DT-xx/HPS-170/L-xxx/LS-xxx/PRS-xxx/RS-40/UPL-120/VT-80/WT-xx/WT-xxx
| 型号 | L-611 |
|---|---|
| 运动 | L-611.991x00Vx 单位 公差 |
| 主动轴 | θ Z |
| 旋转范围 | >360 ° |
| 摆动 | ±15 微弧度 典型值 |
| 平面度 | ±1 微米 典型值 |
| 偏心度 | ±2.5 微米 典型值 |
| 角速度 | 20 度/秒 最大 |
| 定位 | L-611.991200V6 L-611.991300V7 L-611.991600V9 单位 公差 |
| 集成传感器 | – – – |
| 设计分辨率 | 349 349 349 微弧度 |
| 最小位移 | 8.72 8.72 8.72 微弧度 典型值 |
| 单向重复精度 | 20 20 20 微弧度 典型值 |
| 双向重复性 | ±175 ±175 ±175 微弧度 典型值 |
| 参考点开关 | 霍尔效应,常闭触点,5伏,NPN 机械式常闭触点,5伏,NPN 机械式常闭触点,5伏,NPN |
| 机械特性 | L-611.991x00Vx 单位 公差 |
| 轴承 | 滚珠轴承 |
| 蜗轮速比 | 90:1 |
| 负载能力/轴向力 | 100 牛 最大 |
| 允许侧向力 | 50 牛 最大 |
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| θ X 向上的允许力矩M X |
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| 40 牛米 最大 |
| θ Y 向上的允许力矩M y | 40 牛米 最大 |
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| θ Z 向上的允许力矩M z | 3 牛米 最大 |
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| 惯性力矩 | 770 千克平方毫米 ±20 % |
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