N-216 NEXLINE线性促动器

集成式直接测量直线光栅尺，分辨率为5nm

NEXLINE促动器运动方式对比：纳米步进模式可实现颇为平滑的运动。全步模式可实现更高速度。

通过PiezoWalk步进驱动器实现纳米精度和大进给力

数个压电陶瓷促动器在PiezoWalk步进驱动器中执行步进运动，将动轮向前推进。促动器控制可实现远低于1nm分辨率的极小步进和推进运动。

非接触式光学编码器以高精度直接测量平台的位置。非线性效应、机械间隙或弹性形变不会对测量造成影响。

PI压电陶瓷电机可设计用于真空，并且适合在强磁场中运行。特殊版本的驱动器适于此目的。压电陶瓷步进驱动器还可用于有较强紫外线辐射的环境中或无尘室中。

纳米步进模式下的速度：取决于驱动电控。纳米步进模式下的最大速度是为了实现其恒定性而设计的，如此一来，步进时就没有速度变化。

驱动力：数据以全步模式运行条件为准。

PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明，所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识 是指属性的统计平均值，并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中，我们只检测选定的属性，而不是全部属性。请注意，产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。

N-216 NEXLINE线性促动器

NEXLINE线性促动器；NEXLINE压电陶瓷步进驱动器；行程20mm；进给力300N；增量直线光栅尺；电缆长度2m

NEXLINE线性促动器；NEXLINE压电陶瓷步进驱动器；行程20mm；进给力600N；增量直线光栅尺；电缆长度2m

PiezoWalk驱动器是十多年前为半导体产业开发的。就可靠性、位置分辨率和长期稳定性而言，半导体产业是一个非常严苛的行业。

认真处理、充足空间：PI不仅具有验定材料、部件和最终产品的必要设备，同时也具有高真空和超高真空定位系统方面的多年经验。