N-310
通过PiezoWalk步进驱动器实现纳米精度和大进给力。数个压电陶瓷促动器在PiezoWalk步进驱动器中执行步进运动,将动轮向前推进。促动器控制可实现远低于1nm分辨率的极小步进和推进运动
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数个压电陶瓷促动器在PiezoWalk步进驱动器中执行步进运动,将动轮向前推进。促动器控制可实现远低于1nm分辨率的极小步进和推进运动。
非接触式光学直线光栅尺以高精度直接在平台上测量位置。非线性效应、机械间隙或弹性形变不会对测量造成影响。
不锈钢、陶瓷;电缆:PFA、PTFE
E-713、E-861、E-861.11C885
X轴最大速度(空载):取决于驱动电控
PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明,所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识 是指属性的统计平均值,并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中,我们只检测选定的属性,而不是全部属性。请注意,产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。
N-310 NEXACT OEM小型直线驱动器
NEXACT OEM小型直线电机/促动器;NEXACT压电步进驱动器;行程20mm;驱动力10N;最大速度10mm/s;电缆长度1.5m
PiezoWalk驱动器是十多年前为半导体产业开发的。就可靠性、位置分辨率和长期稳定性而言,半导体产业是一个非常严苛的行业。
认真处理、充足空间:PI不仅具有验定材料、部件和最终产品的必要设备,同时也具有高真空和超高真空定位系统方面的多年经验。
六足位移台平台适用于在所有六个自由度(即三根线性轴和三根旋转轴)实现负载的准确定位和校准。
| 型号 | N-310 |
|---|---|
| 运动 | N-310.11 公差 |
| X向的行程 | 20 mm |
| X向的行程(模拟模式) | 10 µm max. |
| X向的最大速度,空载 | 10 mm/s |
| 定位 | N-310.11 公差 |
| 全步模式下的步长 | 10 µm |
| X向的开环分辨率 | 0.03 nm typ. |
| 驱动性能 | N-310.11 公差 |
| 驱动类型 | NEXACT压电步进驱动器 |
| 工作电压 | -10至+45 V |
| X向的驱动力 | 10 N typ. |
| 机械性能 | N-310.11 公差 |
| X向的保持力,被动 | 12 N max. |
| 总质量 | 50 g ±5 % |
| 材料 | 不锈钢、陶瓷;电缆:PFA、PTFE |
| 其他 | N-310.11 公差 |
| 工作温度范围 | 0至50 °C |
| 接头 | HD D-sub 15(公头) |
| 电缆长度 | 1.5 m ±50 mm |
| 推荐控制器/驱动器 | E-713、E-861、E-861.11C885 |
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