P-517
2轴和3轴版本（XY和XYθ Z 型）。P-517/P-527，尺寸单位为mm。PICMA压电陶瓷促动器带来长使用寿命。PICMA促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘促动器的十倍
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← 返回产品列表2轴和3轴版本（XY和XYθ Z 型）
P-517/P-527，尺寸单位为mm。请注意，在图中使用逗号而非小数点。
PICMA压电陶瓷促动器带来长使用寿命
PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘促动器的十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
电容传感器以亚纳米级分辨率进行测量，且无接触。它们可带来良好的运动线性度、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。其刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。其可在较宽的温度范围内工作。
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的D-sub连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
所有自由度均以同一固定参考基准进行测量 轴间的非预期串扰可实时主动补偿（主动导向；取决于系统带宽）。即使在动态操作下，也能保持纳米级高跟踪精度。
E-503、E-505、E-621、E-713、E-727
Z向允许推/拉力：水平安装时（置于支撑面上，非悬挂安装）。
电容：按通道给出（引脚分配见用户手册）。
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明，所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识 是指属性的统计平均值，并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中，我们只检测选定的属性，而不是全部属性。请注意，产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。
压电陶瓷定位器：P-5xx / P-6xx / P-7xx
Unpacking and Packing P-5xx Positioners
P-517、P-518、P-527、P-528、P-558压电陶瓷纳米定位器（带电容传感器）
| 型号 | P-517 |
|---|---|
| 运动 | P-517.2CD P-517.2CL P-517.3CD P-517.3CL P-517.RCD P-527.2CD P-527.2CL P-527.3CD P-527.3CL P-527.RCD 公差 |
| 主动轴 | X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y ǀ Z X ǀ Y ǀ Z X ǀ Y ǀ θZ X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y ǀ Z X ǀ Y ǀ Z X ǀ Y ǀ θZ |
| X向的行程 | 100 µm 100 µm 100 µm 100 µm 100 µm 200 µm 200 µm 200 µm 200 µm 200 µm |
| Y向的行程 | 100 µm 100 µm 100 µm 100 µm 100 µm 200 µm 200 µm 200 µm 200 µm 200 µm |
| Z向的行程 | — — 20 µm 20 µm — — — 20 µm 20 µm — |
| X向的开环行程 | 130 µm 130 µm 130 µm 130 µm 130 µm 250 µm 250 µm 250 µm 250 µm 250 µm ±20 % |
| Y向的开环行程 | 130 µm 130 µm 130 µm 130 µm 130 µm 250 µm 250 µm 250 µm 250 µm 250 µm ±20 % |
| Z向的开环行程 | — — 25 µm 25 µm — — — 25 µm 25 µm — ±20 % |
| X向的线性误差 | 0.03 % 0.03 % 0.03 % 0.03 % 0.03 % 0.03 % 0.03 % 0.03 % 0.03 % 0.03 % typ. |
| Y向的线性误差 | 0.03 % 0.03 % 0.03 % 0.03 % 0.03 % 0.03 % 0.03 % 0.03 % 0.03 % 0.03 % typ. |
| Z向的线性误差 | — — 0.03 % 0.03 % — — — 0.03 % 0.03 % — typ. |
| θZ向的旋转范围 |
请填写必填信息，我们将在工作日尽快回复。
| — — — — 1 mrad — — — — 2 mrad |
| θZ向的开环旋转范围 | — — — — 2.6 mrad — — — — 5 mrad ±20 % |
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| θZ向的线性误差 | — — — — 0.15 % — — — — 0.15 % typ. |
|---|
| 定位 | P-517.2CD P-517.2CL P-517.3CD P-517.3CL P-517.RCD P-527.2CD P-527.2CL P-527.3CD P-527.3CL P-527.RCD 公差 |
|---|
| X向的双向重复精度 | 5 nm 5 nm 5 nm 5 nm 5 nm 10 nm 10 nm 10 nm 10 nm 10 nm typ. |
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| Y向的双向重复精度 | 5 nm 5 nm 5 nm 5 nm 5 nm 10 nm 10 nm 10 nm 10 nm 10 nm typ. |
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| Z向的双向重复精度 | — — 1 nm 1 nm — — — 1 nm 1 nm — typ. |
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| X向的开环分辨率 | 0.3 nm 0.3 nm 0.3 nm 0.3 nm 0.3 nm 0.5 nm 0.5 nm 0.5 nm 0.5 nm 0.5 nm typ. |
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| Y向的开环分辨率 | 0.3 nm 0.3 nm 0.3 nm 0.3 nm 0.3 nm 0.5 nm 0.5 nm 0.5 nm 0.5 nm 0.5 nm typ. |
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| Z向的开环分辨率 | — — 0.1 nm 0.1 nm — — — 0.1 nm 0.1 nm — typ. |
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| 集成传感器 | 电容式，直接位置测量 电容式，直接位置测量 电容式，直接位置测量 电容式，直接位置测量 电容式，间接位置测量 电容式，直接位置测量 电容式，直接位置测量 电容式，直接位置测量 电容式，直接位置测量 电容式，间接位置测量 |
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| X向的系统分辨率 | 1 nm 1 nm 1 nm 1 nm 1 nm 2 nm 2 nm 2 nm 2 nm 2 nm |
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