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广西科米瑞实验仪器设备有限公司13422079856122816084@qq.com
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P-518 • P-528 压电陶瓷Z向偏摆位移台

P-518

P-518 • P-528 压电陶瓷Z向偏摆位移台。Z向行程/偏摆角:闭环最高200µm/2mrad(开环最高240µm/2.4mrad)

品牌: Physik Instrumente (PI)价格: 面议服务区域: 全国

广西科米瑞实验仪器设备有限公司提供 Physik Instrumente (PI) P-518 产品资料、选型咨询、供货报价和售后服务支持,价格面议。

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Physik Instrumente (PI)P-518
说明规格FAQ

说明

Z向行程/偏摆角:闭环最高200µm/2mrad(开环最高240µm/2.4mrad)

PICMA压电陶瓷促动器带来长使用寿命

P-518,P-528 Z向位移台,尺寸单位为mm 请注意,在图中使用逗号代表小数点。

P-518,P-528 Z向偏摆位移台,尺寸单位为mm 请注意,在图中使用逗号代表小数点。

PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘促动器的十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

电容传感器以亚纳米级分辨率进行测量,且无接触。它们可带来良好的运动线性度、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

零间隙的柔性铰链导向机构带来高导向精度

柔性铰链导向机构无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。其刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。其可在较宽的温度范围内工作。

机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的D-sub连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

采用并行位置测量,实现纳米级高跟踪精度

所有自由度均以同一固定参考基准进行测量 轴间的非预期串扰可实时主动补偿(主动导向;取决于系统带宽)。即使在动态操作下,也能保持纳米级高跟踪精度。

E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-713、E-727、E-754

Z向允许推/拉力:水平安装时(置于支撑面上,非悬挂安装)。

电容:按通道给出(引脚分配见用户手册)。

因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。

PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明,所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识 是指属性的统计平均值,并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中,我们只检测选定的属性,而不是全部属性。请注意,产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。

规格

型号P-518
运动P-518.TCD P-518.ZCD P-518.ZCL P-528.TCD P-528.ZCD P-528.ZCL 公差
主动轴Z ǀ θX ǀ θY Z Z Z ǀ θX ǀ θY Z Z
Z向的行程100 µm 100 µm 100 µm 200 µm 200 µm 200 µm
Z向的开环行程140 µm 140 µm 140 µm 240 µm 240 µm 240 µm ±20 %
θX向的旋转范围1 mrad — — 2 mrad — —
θY向的旋转范围1 mrad — — 2 mrad — —
θX向的开环旋转范围1.4 mrad — — 2.4 mrad — — ±20 %
θY向的开环旋转范围1.4 mrad — — 2.4 mrad — — ±20 %
Z向的线性误差0.03 % 0.03 % 0.03 % 0.03 % 0.03 % 0.03 % typ.
θX向的线性误差0.15 % — — 0.15 % — — typ.
θY向的线性误差0.15 % — — 0.15 % — — typ.
角度误差E_AZ± 25 µrad ± 25 µrad ± 25 µrad ± 50 µrad ± 50 µrad ± 50 µrad max.
角度误差E_BZ± 25 µrad ± 25 µrad ± 25 µrad ± 50 µrad ± 50 µrad ± 50 µrad max.
角度误差E_CZ± 5 µrad ± 5 µrad ± 5 µrad ± 10 µrad ± 10 µrad ± 10 µrad max.

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定位P-518.TCD P-518.ZCD P-518.ZCL P-528.TCD P-528.ZCD P-528.ZCL 公差
Z向的双向重复精度5 nm 5 nm 5 nm 10 nm 10 nm 10 nm typ.
θX向的双向重复精度0.05 µrad — — 0.1 µrad — — typ.
θY向的双向重复精度0.05 µrad — — 0.1 µrad — — typ.
Z向的开环分辨率0.4 nm 0.2 nm 0.2 nm 0.6 nm 0.6 nm 0.6 nm typ.
θX向的开环分辨率0.04 µrad — — 0.06 µrad — — typ.
θY向的开环分辨率0.04 µrad — — 0.06 µrad — — typ.
集成传感器电容式,间接位置测量 电容式,直接位置测量 电容式,直接位置测量 电容式,间接位置测量 电容式,直接位置测量 电容式,直接位置测量
Z向的系统分辨率0.8 nm 0.8 nm 0.8 nm 1 nm 1 nm 1 nm

FAQ