P-518
P-518 • P-528 压电陶瓷Z向偏摆位移台。Z向行程/偏摆角:闭环最高200µm/2mrad(开环最高240µm/2.4mrad)
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← 返回产品列表Z向行程/偏摆角:闭环最高200µm/2mrad(开环最高240µm/2.4mrad)
PICMA压电陶瓷促动器带来长使用寿命
P-518,P-528 Z向位移台,尺寸单位为mm 请注意,在图中使用逗号代表小数点。
P-518,P-528 Z向偏摆位移台,尺寸单位为mm 请注意,在图中使用逗号代表小数点。
PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘促动器的十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
电容传感器以亚纳米级分辨率进行测量,且无接触。它们可带来良好的运动线性度、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
零间隙的柔性铰链导向机构带来高导向精度
柔性铰链导向机构无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。其刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。其可在较宽的温度范围内工作。
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的D-sub连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
采用并行位置测量,实现纳米级高跟踪精度
所有自由度均以同一固定参考基准进行测量 轴间的非预期串扰可实时主动补偿(主动导向;取决于系统带宽)。即使在动态操作下,也能保持纳米级高跟踪精度。
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-713、E-727、E-754
Z向允许推/拉力:水平安装时(置于支撑面上,非悬挂安装)。
电容:按通道给出(引脚分配见用户手册)。
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明,所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识 是指属性的统计平均值,并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中,我们只检测选定的属性,而不是全部属性。请注意,产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。
| 型号 | P-518 |
|---|---|
| 运动 | P-518.TCD P-518.ZCD P-518.ZCL P-528.TCD P-528.ZCD P-528.ZCL 公差 |
| 主动轴 | Z ǀ θX ǀ θY Z Z Z ǀ θX ǀ θY Z Z |
| Z向的行程 | 100 µm 100 µm 100 µm 200 µm 200 µm 200 µm |
| Z向的开环行程 | 140 µm 140 µm 140 µm 240 µm 240 µm 240 µm ±20 % |
| θX向的旋转范围 | 1 mrad — — 2 mrad — — |
| θY向的旋转范围 | 1 mrad — — 2 mrad — — |
| θX向的开环旋转范围 | 1.4 mrad — — 2.4 mrad — — ±20 % |
| θY向的开环旋转范围 | 1.4 mrad — — 2.4 mrad — — ±20 % |
| Z向的线性误差 | 0.03 % 0.03 % 0.03 % 0.03 % 0.03 % 0.03 % typ. |
| θX向的线性误差 | 0.15 % — — 0.15 % — — typ. |
| θY向的线性误差 | 0.15 % — — 0.15 % — — typ. |
| 角度误差E_AZ | ± 25 µrad ± 25 µrad ± 25 µrad ± 50 µrad ± 50 µrad ± 50 µrad max. |
| 角度误差E_BZ | ± 25 µrad ± 25 µrad ± 25 µrad ± 50 µrad ± 50 µrad ± 50 µrad max. |
| 角度误差E_CZ | ± 5 µrad ± 5 µrad ± 5 µrad ± 10 µrad ± 10 µrad ± 10 µrad max. |
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| 定位 | P-518.TCD P-518.ZCD P-518.ZCL P-528.TCD P-528.ZCD P-528.ZCL 公差 |
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| Z向的双向重复精度 | 5 nm 5 nm 5 nm 10 nm 10 nm 10 nm typ. |
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| θX向的双向重复精度 | 0.05 µrad — — 0.1 µrad — — typ. |
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| θY向的双向重复精度 | 0.05 µrad — — 0.1 µrad — — typ. |
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| Z向的开环分辨率 | 0.4 nm 0.2 nm 0.2 nm 0.6 nm 0.6 nm 0.6 nm typ. |
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| θX向的开环分辨率 | 0.04 µrad — — 0.06 µrad — — typ. |
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| θY向的开环分辨率 | 0.04 µrad — — 0.06 µrad — — typ. |
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| 集成传感器 | 电容式,间接位置测量 电容式,直接位置测量 电容式,直接位置测量 电容式,间接位置测量 电容式,直接位置测量 电容式,直接位置测量 |
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| Z向的系统分辨率 | 0.8 nm 0.8 nm 0.8 nm 1 nm 1 nm 1 nm |
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