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广西科米瑞实验仪器设备有限公司13422079856122816084@qq.com
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P-561 • P-562 • P-563 PIMars纳米定位平台

P-561

P-561 • P-562 • P-563 PIMars纳米定位平台。X轴和Y轴采用并联运动机构，响应速度更快，多轴精度更高

品牌: Physik Instrumente (PI)价格: 面议服务区域: 全国

广西科米瑞实验仪器设备有限公司提供 Physik Instrumente (PI) P-561 产品资料、选型咨询、供货报价和售后服务支持，价格面议。

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Physik Instrumente (PI)P-561
说明规格FAQ

说明

X轴和Y轴采用并联运动机构，响应速度更快，多轴精度更高

行程范围可达300µm × 300µm × 300µm

PICMA压电陶瓷促动器带来长使用寿命

P-561.3DD，尺寸单位为毫米。请注意，图纸中以逗号作为小数点分隔符。

P-562.3CD的响应行为：X、Y和Z轴的步进和稳定时间小于10ms。

P-56x.3CD和P-56x.3CL，尺寸单位为毫米。请注意，图纸中以逗号作为小数点分隔符。

PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘促动器的十倍 它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

电容传感器以亚纳米级分辨率进行测量，且无接触。它们可带来良好的运动线性度、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

零间隙的柔性铰链导向机构带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。其刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。其可在较宽的温度范围内工作。

机械单元与控制器可按需组合，更换快捷。所有伺服与线性化参数均存储在机械单元D-sub连接器的ID芯片中。数字控制器每次开机时，其自动校准功能都会自动调用这些数据。

采用并行位置测量，实现纳米级高跟踪精度

所有自由度均以同一固定参考基准进行测量 轴间的非预期串扰可实时主动补偿（主动导向；取决于系统带宽）。即使在动态操作下，也能保持纳米级高跟踪精度。

E-503、E-505、E-621、E-713、E-727

P-561.3DD的线性误差：配备数字控制器。采用模拟控制器时，直接驱动定位器的非线性度通常高达0.1%。

仅X轴和Y轴（Z轴除外）采用并联运动机构。

规格

型号P-561
运动P-561.3CD P-561.3CL P-562.3CD P-562.3CL P-563.3CD P-563.3CL P-561.3DD 公差
主动轴X ǀ Y ǀ Z X ǀ Y ǀ Z X ǀ Y ǀ Z X ǀ Y ǀ Z X ǀ Y ǀ Z X ǀ Y ǀ Z X ǀ Y ǀ Z
X向的行程100 µm 100 µm 200 µm 200 µm 300 µm 300 µm 45 µm
Y向的行程100 µm 100 µm 200 µm 200 µm 300 µm 300 µm 45 µm
Z向的行程100 µm 100 µm 200 µm 200 µm 300 µm 300 µm 15 µm
X向的开环行程，电压-20至120V150 µm 150 µm 300 µm 300 µm 340 µm 340 µm 58 µm +20 % / -0 %
Y向的开环行程，电压-20至120V150 µm 150 µm 300 µm 300 µm 340 µm 340 µm 58 µm +20 % / -0 %
Z向的开环行程，电压-20至120V150 µm 150 µm 300 µm 300 µm 340 µm 340 µm 18 µm +20 % / -0 %
X向的线性误差0.03 % 0.03 % 0.03 % 0.03 % 0.03 % 0.03 % 0.03 % max.
Y向的线性误差0.03 % 0.03 % 0.03 % 0.03 % 0.03 % 0.03 % 0.03 % max.
Z向的线性误差0.03 % 0.03 % 0.03 % 0.03 % 0.03 % 0.03 % 0.08 % max.
直线度误差E_XZ± 30 nm ± 30 nm ± 50 nm ± 50 nm ± 50 nm ± 50 nm ± 20 nm typ.
直线度误差E_YZ± 30 nm ± 30 nm ± 50 nm ± 50 nm ± 50 nm ± 50 nm ± 20 nm typ.

提交需求

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直线度误差E_ZX（平面度）± 15 nm ± 15 nm ± 20 nm ± 20 nm ± 25 nm ± 25 nm ± 10 nm typ.
直线度误差E_ZY（平面度）± 15 nm ± 15 nm ± 20 nm ± 20 nm ± 25 nm ± 25 nm ± 10 nm typ.
角度误差E_AY（俯仰角）± 1 µrad ± 1 µrad ± 2 µrad ± 2 µrad ± 2 µrad ± 2 µrad ± 3 µrad typ.
角度误差E_AZ± 15 µrad ± 15 µrad ± 20 µrad ± 20 µrad ± 25 µrad ± 25 µrad ± 3 µrad typ.
角度误差E_BX（俯仰角）± 1 µrad ± 1 µrad ± 2 µrad ± 2 µrad ± 2 µrad ± 2 µrad ± 3 µrad typ.
角度误差E_BZ± 15 µrad ± 15 µrad ± 20 µrad ± 20 µrad ± 25 µrad ± 25 µrad ± 3 µrad typ.
角度误差E_CX（偏转角）± 6 µrad ± 6 µrad ± 10 µrad ± 10 µrad ± 10 µrad ± 10 µrad ± 3 µrad typ.
角度误差E_CY（偏转角）± 6 µrad ± 6 µrad ± 10 µrad ± 10 µrad ± 10 µrad ± 10 µrad ± 3 µrad typ.
定位P-561.3CD P-561.3CL P-562.3CD P-562.3CL P-563.3CD P-563.3CL P-561.3DD 公差
X向的单向重复精度± 2 nm ± 2 nm ± 2 nm ± 2 nm ± 2 nm ± 2 nm ± 2 nm typ.

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