P-561 • P-562 • P-563 PIMars纳米定位平台

X轴和Y轴采用并联运动机构，响应速度更快，多轴精度更高

行程范围可达300µm × 300µm × 300µm

PICMA压电陶瓷促动器带来长使用寿命

P-561.3DD，尺寸单位为毫米。请注意，图纸中以逗号作为小数点分隔符。

P-562.3CD的响应行为：X、Y和Z轴的步进和稳定时间小于10ms。

P-56x.3CD和P-56x.3CL，尺寸单位为毫米。请注意，图纸中以逗号作为小数点分隔符。

PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘促动器的十倍 它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

电容传感器以亚纳米级分辨率进行测量，且无接触。它们可带来良好的运动线性度、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

零间隙的柔性铰链导向机构带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。其刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。其可在较宽的温度范围内工作。

机械单元与控制器可按需组合，更换快捷。所有伺服与线性化参数均存储在机械单元D-sub连接器的ID芯片中。数字控制器每次开机时，其自动校准功能都会自动调用这些数据。

采用并行位置测量，实现纳米级高跟踪精度

所有自由度均以同一固定参考基准进行测量 轴间的非预期串扰可实时主动补偿（主动导向；取决于系统带宽）。即使在动态操作下，也能保持纳米级高跟踪精度。

E-503、E-505、E-621、E-713、E-727

P-561.3DD的线性误差：配备数字控制器。采用模拟控制器时，直接驱动定位器的非线性度通常高达0.1%。

仅X轴和Y轴（Z轴除外）采用并联运动机构。