P-611.1
极其经济实惠的系统（机械部件和控制器）。PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命。可提供Z向位移台、XY、XZ和XYZ版本。P-611.1S的重复精度为2.7纳米
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PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
可提供Z向位移台、XY、XZ和XYZ版本
P-611.1S的重复精度为2.7纳米。
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。
的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
44 毫米 × 44 毫米 × 17 毫米
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-836
具有应变片传感器/无传感器的P-611纳米级定位系统
Unpacking and Handling of P-611 Positioners
压电陶瓷定位器：P-5xx / P-6xx / P-7xx
利用多层促动器的制造工艺实现高度可靠的和更长的使用寿命
来自PI的柔性铰链导向已经证明了其在纳米定位领域的价值。它导向压电陶瓷促动器，并确保无偏摆或侧向偏差的直线运动。
| 型号 | P-611.1 |
|---|---|
| P-611.1S | P-611.10 单位 公差 |
| 主动轴 | X X |
| 集成传感器 | 应变片传感器 - |
| -20至+120伏时的开环行程 | 120 120 微米 +20 % / -0 % |
| 行程，闭环 | 100 - 微米 |
| 分辨率，开环 | 0.2 0.2 纳米 典型值 |
| 分辨率，闭环 | 2 - 纳米 典型值 |
| 线性误差，闭环 | 0.1 - % 典型值 |
| 重复精度 | <10 - 纳米 典型值 |
| 螺距 | ±5 ±5 微弧度 典型值 |
| 偏转角 | ±20 ±20 微弧度 典型值 |
| 平面度 | 10 10 纳米 典型值 |
| 运动方向上的刚性 | 0.2 0.2 牛/微米 ±20 % |
| 谐振频率，空载 | 400 400 赫兹 ±20 % |
| 带30克负载时的谐振频率 | 300 300 赫兹 ±20 % |
| 带100克负载时的谐振频率 | 195 195 赫兹 ±20 % |
| 运动方向上的推/拉力 | 15 / 10 15 / 10 牛 最大 |
| 负载容量 | 15 15 牛 最大 |
| 陶瓷类型 | PICMAP-885 PICMAP-885 |
| 电容 | 1.5 1.5 微法 ±20 % |
| 工作温度范围 | -20 到 80 -20 到 80 °C |
| 材料 | 铝、钢 铝、钢 |
| 尺寸 | 44 毫米 × 44 毫米 × 17 毫米 44 毫米 × 44 毫米 × 17 毫米 |
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