P-620.1
P-620.1 – P-629.1 PIHera压电陶瓷线性精密定位器。P-62x.1CD/.1CL/.10L，尺寸单位为mm。
广西科米瑞实验仪器设备有限公司提供 Physik Instrumente (PI) P-620.1 产品资料、选型咨询、供货报价和售后服务支持，价格面议。
← 返回产品列表P-62x.1CD/.1CL/.10L，尺寸单位为mm。
P-621.1CD的快速扫描运动（规定上升时间：5ms），配备带16位传感器分辨率和DDL选件的数字控制器。数字动态线性化将扫描时的跟踪误差减小至低于20nm。与标准的PID控制器相比，改进高达3个数量级，并随频率的增加而提高。
PICMA压电陶瓷促动器带来长使用寿命
PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘促动器的十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
电容传感器以亚纳米级分辨率进行测量，且无接触。它们可带来良好的运动线性度、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
零间隙的柔性铰链导向机构带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。其刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。其可在较宽的温度范围内工作。
运动直接在运动平台上测量，不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现高重复精度、高稳定性、高刚性，以及快速响应控制。
E-503, E-505, E-610, E-665
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-709、1C1L、E-754
P-628.1CD/P-628.1CL：带数字式控制器，X向上的线性误差（典型值）为0.03%。带模拟量控制器0.05%。
P-629.1CD/P-629.1CL：带数字式控制器，X向上的线性误差（典型值）为0.03%。带模拟量控制器0.08%。
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
可提供真空度达10 -9 hPa的版本，订购编码为P-62x.1U。
所有规格参数基于室温（22°C±3°C）。
PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明，所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识 是指属性的统计平均值，并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中，我们只检测选定的属性，而不是全部属性。请注意，产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。
| 型号 | P-620.1 |
|---|---|
| 运动 | P-620.10L P-620.1CD P-620.1CL P-621.10L P-621.1CD P-621.1CL P-622.10L P-622.1CD P-622.1CL P-625.10L P-625.1CD P-625.1CL P-628.10L P-628.1CD P-628.1CL P-629.10L P-629.1CD P-629.1CL 公差 |
| 主动轴 | X X X X X X X X X X X X X X X X X X |
| X向的行程 | — 50 µm 50 µm — 100 µm 100 µm — 250 µm 250 µm — 500 µm 500 µm — 800 µm 800 µm — 1500 µm 1500 µm |
| X向的开环行程 | 60 µm 60 µm 60 µm 120 µm 120 µm 120 µm 300 µm 300 µm 300 µm 600 µm 600 µm 600 µm 950 µm 950 µm 950 µm 1800 µm 1800 µm 1800 µm ±20 % |
| X向的线性误差 | — 0.02 % 0.02 % — 0.02 % 0.02 % — 0.02 % 0.02 % — 0.03 % 0.03 % — 0.03 % 0.03 % — 0.03 % 0.03 % typ. |
| 绕Y的角度误差（俯仰角） | ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 6 µrad ± 6 µrad ± 6 µrad ± 6 µrad ± 6 µrad ± 6 µrad ± 30 µrad ± 30 µrad ± 30 µrad typ. |
| 绕Z的角度误差（偏转角） | ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 6 µrad ± 6 µrad ± 6 µrad ± 6 µrad ± 6 µrad ± 6 µrad ± 10 µrad ± 10 µrad ± 10 µrad typ. |
| 定位 | P-620.10L P-620.1CD P-620.1CL P-621.10L P-621.1CD P-621.1CL P-622.10L P-622.1CD P-622.1CL P-625.10L P-625.1CD P-625.1CL P-628.10L P-628.1CD P-628.1CL P-629.10L P-629.1CD P-629.1CL 公差 |
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| X向的双向重复精度 | — 1 nm 1 nm — 1 nm 1 nm — 1 nm 1 nm — 5 nm 5 nm — 10 nm 10 nm — 14 nm 14 nm typ. |
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| X向的开环分辨率 | 0.1 nm 0.1 nm 0.1 nm 0.2 nm 0.2 nm 0.2 nm 0.4 nm 0.4 nm 0.4 nm 0.5 nm 0.5 nm 0.5 nm 0.5 nm 0.5 nm 0.5 nm 2 nm 2 nm 2 nm typ. |
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| 集成传感器 | — 电容式，直接位置测量 电容式，直接位置测量 — 电容式，直接位置测量 电容式，直接位置测量 — 电容式，直接位置测量 电容式，直接位置测量 — 电容式，直接位置测量 电容式，直接位置测量 — 电容式，直接位置测量 电容式，直接位置测量 — 电容式，直接位置测量 电容式，直接位置测量 |
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| X向的系统分辨率 | — 0.2 nm 0.2 nm — 0.4 nm 0.4 nm — 0.7 nm 0.7 nm — 1.4 nm 1.4 nm — 1.8 nm 1.8 nm — 3 nm 3 nm |
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| 驱动性能 | P-620.10L P-620.1CD P-620.1CL P-621.10L P-621.1CD P-621.1CL P-622.10L P-622.1CD P-622.1CL P-625.10L P-625.1CD P-625.1CL P-628.10L P-628.1CD P-628.1CL P-629.10L P-629.1CD P-629.1CL 公差 |
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| 驱动类型 | PICMA PICMA PICMA PICMA PICMA PICMA PICMA PICMA PICMA PICMA PICMA PICMA PICMA PICMA PICMA PICMA PICMA PICMA |
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| 最大功耗 | 3 W 3 W 3 W 9 W 9 W 9 W 9 W 9 W 9 W 10 W 10 W 10 W 18 W 18 W 18 W 49 W 49 W 49 W |
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| X向的电容 | 0.35 µF 0.35 µF 0.35 µF 1.5 µF 1.5 µF 1.5 µF 3.1 µF 3.1 µF 3.1 µF 6.2 µF 6.2 µF 6.2 µF 19 µF 19 µF 19 µF 52 µF 52 µF 52 µF ±20 % |
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| 短期最大工作频率，空载 | 367 Hz 367 Hz 367 Hz 267 Hz 267 Hz 267 Hz 133 Hz 133 Hz 133 Hz 72 Hz 72 Hz 72 Hz 42 Hz 42 Hz 42 Hz 42 Hz 42 Hz 42 Hz |
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| 机械性能 | P-620.10L P-620.1CD P-620.1CL P-621.10L P-621.1CD P-621.1CL P-622.10L P-622.1CD P-622.1CL P-625.10L P-625.1CD P-625.1CL P-628.10L P-628.1CD P-628.1CL P-629.10L P-629.1CD P-629.1CL 公差 |
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| X向的刚性 | 0.42 N/µm 0.42 N/µm 0.42 N/µm 0.35 N/µm 0.35 N/µm 0.35 N/µm 0.2 N/µm 0.2 N/µm 0.2 N/µm 0.1 N/µm 0.1 N/µm 0.1 N/µm 0.12 N/µm 0.12 N/µm 0.12 N/µm 0.13 N/µm 0.13 N/µm 0.13 N/µm ±20 % |
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| X向的谐振频率，空载 | 1100 Hz 1100 Hz 1100 Hz 800 Hz 800 Hz 800 Hz 400 Hz 400 Hz 400 Hz 215 Hz 215 Hz 215 Hz 125 Hz 125 Hz 125 Hz 125 Hz 125 Hz 125 Hz ±20 % |
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| 在20g负载下X向的谐振频率 | 550 Hz 550 Hz 550 Hz 520 Hz 520 Hz 520 Hz 340 Hz 340 Hz 340 Hz 180 Hz 180 Hz 180 Hz 115 Hz 115 Hz 115 Hz 120 Hz 120 Hz 120 Hz ±20 % |
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| 在120g负载下X向的谐振频率 | 260 Hz 260 Hz 260 Hz 240 Hz 240 Hz 240 Hz 185 Hz 185 Hz 185 Hz 110 Hz 110 Hz 110 Hz 90 Hz 90 Hz 90 Hz 110 Hz 110 Hz 110 Hz ±20 % |
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| X向的允许推力 | 10 N 10 N 10 N 10 N 10 N 10 N 10 N 10 N 10 N 10 N 10 N 10 N 10 N 10 N 10 N 10 N 10 N 10 N max. |
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