P-620.1 – P-629.1 PIHera压电陶瓷线性精密定位器

P-62x.1CD/.1CL/.10L，尺寸单位为mm。

P-621.1CD的快速扫描运动（规定上升时间：5ms），配备带16位传感器分辨率和DDL选件的数字控制器。数字动态线性化将扫描时的跟踪误差减小至低于20nm。与标准的PID控制器相比，改进高达3个数量级，并随频率的增加而提高。

PICMA压电陶瓷促动器带来长使用寿命

PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘促动器的十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

电容传感器以亚纳米级分辨率进行测量，且无接触。它们可带来良好的运动线性度、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

零间隙的柔性铰链导向机构带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。其刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。其可在较宽的温度范围内工作。

运动直接在运动平台上测量，不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现高重复精度、高稳定性、高刚性，以及快速响应控制。

E-503, E-505, E-610, E-665

E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-709、1C1L、E-754

P-628.1CD/P-628.1CL：带数字式控制器，X向上的线性误差（典型值）为0.03%。带模拟量控制器0.05%。

P-629.1CD/P-629.1CL：带数字式控制器，X向上的线性误差（典型值）为0.03%。带模拟量控制器0.08%。

因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。

可提供真空度达10 -9 hPa的版本，订购编码为P-62x.1U。

所有规格参数基于室温（22°C±3°C）。

PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明，所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识 是指属性的统计平均值，并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中，我们只检测选定的属性，而不是全部属性。请注意，产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。