P-620.2
P-620.2 – P-629.2 PIHeraXY向压电工作台。P-62x.2CD/.2CL/.20L，尺寸单位为mm
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PICMA压电陶瓷促动器带来长使用寿命
PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘促动器的十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
电容传感器以亚纳米级分辨率进行测量，且无接触。它们可带来良好的运动线性度、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。其刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。其可在较宽的温度范围内工作。
运动直接在运动平台上测量，不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现高重复精度、高稳定性、高刚性，以及快速响应控制。
E-503、E-505、E-621、E-713、E-727
P-628.2CD / P-628.2CL：带数字控制器，X、Y轴线性误差（典型值）为0.03%。带模拟量控制器0.05%。
P-629.2CD / P-629.2CL：带数字控制器，X、Y轴线性误差（典型值）为0.03%。带模拟量控制器0.08%。
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
所有规格参数基于室温（22°C±3°C）。
PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明，所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识 是指属性的统计平均值，并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中，我们只检测选定的属性，而不是全部属性。请注意，产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。
压电陶瓷定位器：P-5xx / P-6xx / P-7xx
P-620，P-621、P-622、P-625、P-628、P-629 PIHera压电平台（带电容传感器）
PIHera精密XY纳米定位器，60µm×60µm，无传感器，LEMO连接器
| 型号 | P-620.2 |
|---|---|
| 运动 | P-620.20L P-620.2CD P-620.2CL P-621.20L P-621.2CD P-621.2CL P-622.20L P-622.2CD P-622.2CL P-625.20L P-625.2CD P-625.2CL P-628.20L P-628.2CD P-628.2CL P-629.2CD P-629.2CL 公差 |
| 主动轴 | X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y |
| X向的行程 | — 50 µm 50 µm — 100 µm 100 µm — 250 µm 250 µm — 500 µm 500 µm — 800 µm 800 µm 1500 µm 1500 µm |
| Y向的行程 | — 50 µm 50 µm — 100 µm 100 µm — 250 µm 250 µm — 500 µm 500 µm — 800 µm 800 µm 1500 µm 1500 µm |
| X向的开环行程 | 60 µm 60 µm 60 µm 120 µm 120 µm 120 µm 300 µm 300 µm 300 µm 600 µm 600 µm 600 µm 1000 µm 1000 µm 1000 µm 1800 µm 1800 µm ±20 % |
| Y向的开环行程 | 60 µm 60 µm 60 µm 120 µm 120 µm 120 µm 300 µm 300 µm 300 µm 600 µm 600 µm 600 µm 1000 µm 1000 µm 1000 µm 1800 µm 1800 µm ±20 % |
| 角度误差E_AY（俯仰角） | ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 20 µrad ± 20 µrad ± 20 µrad ± 30 µrad ± 30 µrad typ. |
| 角度误差E_BX（俯仰角） | ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 20 µrad ± 20 µrad ± 20 µrad ± 30 µrad ± 30 µrad typ. |
请填写必填信息，我们将在工作日尽快回复。
| 角度误差E_CX（偏转角） | ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 5 µrad ± 5 µrad ± 5 µrad ± 5 µrad ± 5 µrad ± 5 µrad ± 5 µrad ± 5 µrad typ. |
|---|
| 角度误差E_CY（偏转角） | ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 5 µrad ± 5 µrad ± 5 µrad ± 5 µrad ± 5 µrad ± 5 µrad ± 5 µrad ± 5 µrad typ. |
|---|
| X向的线性误差 | — 0.02 % 0.02 % — 0.02 % 0.02 % — 0.02 % 0.02 % — 0.03 % 0.03 % — 0.03 % 0.03 % 0.03 % 0.03 % typ. |
|---|
| Y向的线性误差 | — 0.02 % 0.02 % — 0.02 % 0.02 % — 0.02 % 0.02 % — 0.03 % 0.03 % — 0.03 % 0.03 % 0.03 % 0.03 % typ. |
|---|
| 定位 | P-620.20L P-620.2CD P-620.2CL P-621.20L P-621.2CD P-621.2CL P-622.20L P-622.2CD P-622.2CL P-625.20L P-625.2CD P-625.2CL P-628.20L P-628.2CD P-628.2CL P-629.2CD P-629.2CL 公差 |
|---|
| X向的开环分辨率 | 0.1 nm 0.1 nm 0.1 nm 0.2 nm 0.2 nm 0.2 nm 0.4 nm 0.4 nm 0.4 nm 0.5 nm 0.5 nm 0.5 nm 0.5 nm 0.5 nm 0.5 nm 2 nm 2 nm typ. |
|---|
| Y向的开环分辨率 | 0.1 nm 0.1 nm 0.1 nm 0.2 nm 0.2 nm 0.2 nm 0.4 nm 0.4 nm 0.4 nm 0.5 nm 0.5 nm 0.5 nm 0.5 nm 0.5 nm 0.5 nm 2 nm 2 nm typ. |
|---|
| 集成传感器 | — 电容式，直接位置测量 电容式，直接位置测量 — 电容式，直接位置测量 电容式，直接位置测量 — 电容式，直接位置测量 电容式，直接位置测量 — 电容式，直接位置测量 电容式，直接位置测量 — 电容式，直接位置测量 电容式，直接位置测量 电容式，直接位置测量 电容式，直接位置测量 |
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| X向的系统分辨率 | — 0.2 nm 0.2 nm — 0.4 nm 0.4 nm — 0.7 nm 0.7 nm — 1.4 nm 1.4 nm — 3.5 nm 3.5 nm 3.5 nm 3.5 nm |
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| Y向的系统分辨率 | — 0.2 nm 0.2 nm — 0.4 nm 0.4 nm — 0.7 nm 0.7 nm — 1.4 nm 1.4 nm — 3.5 nm 3.5 nm 3.5 nm 3.5 nm |
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| X向的双向重复精度 | — 2 nm 2 nm — 2 nm 2 nm — 2 nm 2 nm — 5 nm 5 nm — 10 nm 10 nm 14 nm 14 nm typ. |
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| Y向的双向重复精度 | — 2 nm 2 nm — 2 nm 2 nm — 2 nm 2 nm — 5 nm 5 nm — 10 nm 10 nm 14 nm 14 nm typ. |
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| 驱动性能 | P-620.20L P-620.2CD P-620.2CL P-621.20L P-621.2CD P-621.2CL P-622.20L P-622.2CD P-622.2CL P-625.20L P-625.2CD P-625.2CL P-628.20L P-628.2CD P-628.2CL P-629.2CD P-629.2CL 公差 |
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| 驱动类型 | PICMA PICMA PICMA PICMA PICMA PICMA PICMA PICMA PICMA PICMA PICMA PICMA PICMA PICMA PICMA PICMA PICMA |
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| 最大功耗 | 2 W 2 W 2 W 6 W 6 W 6 W 7 W 7 W 7 W 9 W 9 W 9 W 15 W 15 W 15 W 38 W 38 W |
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