P-733.2
X和Y向上的行程达100微米×100微米。50毫米×50毫米的通光孔径用于透射光应用。P-733.2CD/.2CL,尺寸单位为毫米。电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触
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← 返回产品列表X和Y向上的行程达100微米×100微米
50毫米×50毫米的通光孔径用于透射光应用
P-733.2CD/.2CL,尺寸单位为毫米
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
在并联多轴系统中,所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴均具有超小的质量惯性并采用相同的设计,可实现快速、动态且精密的运动。
的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。
运动直接在运动平台上测量,完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现高重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。
压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。
CD版本:Sub-D 25W3(公头)
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712
具有电容传感器的P-733、P-734压电陶瓷纳米级定位系统
压电陶瓷定位器:P-5xx / P-6xx / P-7xx
| 型号 | P-733.2 |
|---|---|
| P-733.2CD P-733.2CL | P-733.2DD 单位 公差 |
| 主动轴 | X, Y X, Y |
| 集成传感器 | 电容式 电容式 |
| -20至120 伏时的开环行程 | 115 微米×115 微米 33 微米×33 微米 +20 % / -0 % |
| 行程,闭环 | 100 微米×100 微米 30 微米×30 微米 |
| 分辨率,开环 | 0.2 0.1 纳米 典型值 |
| 分辨率,闭环 | 0.3 0.1 纳米 典型值 |
| 线性误差(X、Y) | 0.03 0.03* % 典型值 |
| 重复精度(X、Y) | <2 <2 纳米 典型值 |
| 螺距(X、Y) | <±3 <±5 微弧度 典型值 |
| 偏转角(X、Y) | <±10 <±10 微弧度 典型值 |
| 刚度 | 1.5 20 牛/微米 ±20 % |
| 谐振频率,空载 | 500 2230 赫兹 ±20 % |
| 带120 克负载时的谐振频率 | 370 – 赫兹 ±20 % |
| 带200 克负载时的谐振频率 | 340 1550 赫兹 ±20 % |
| 运动方向上的推/拉力 | 50 / 20 50 / 20 牛 最大 |
| 压电陶瓷 | PICMAP-885 PICMAP-885 |
| 电容 | 6 6.2 微法 ±20 % |
| 工作温度范围 | -20 到 80 -20 到 80 °C |
| 材料 |
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| 铝 铝 |
| 质量 | 0.58 0.58 千克 ±5 % |
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| 电缆长度 | 1.5 1.5 米 ±10 毫米 |
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| 传感器/电压连接 | CD版本:Sub-D 25W3(公头) CL版本:LEMO Sub-D25W3(公头) |
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