P-733.2
X和Y向上的行程达100微米×100微米。50毫米×50毫米的通光孔径用于透射光应用。P-733.2CD/.2CL,尺寸单位为毫米。电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触
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← 返回产品列表X和Y向上的行程达100微米×100微米
50毫米×50毫米的通光孔径用于透射光应用
P-733.2CD/.2CL,尺寸单位为毫米
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
在并联多轴系统中,所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴均具有超小的质量惯性并采用相同的设计,可实现快速、动态且精密的运动。
的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。
运动直接在运动平台上测量,完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现高重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。
压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。
CD版本:Sub-D 25W3(公头)
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712
具有电容传感器的P-733、P-734压电陶瓷纳米级定位系统
压电陶瓷定位器:P-5xx / P-6xx / P-7xx
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