P-733.3
X和Y向上的行程达100微米 × 100微米，Z向上的行程达10微米。50毫米×50毫米的通光孔径用于透射光应用。P-733.3CD / .3CL, dimensions in mm. Note that a comma is used in the drawings instead of a decimal point.
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← 返回产品列表X和Y向上的行程达100微米 × 100微米，Z向上的行程达10微米
50毫米×50毫米的通光孔径用于透射光应用
P-733.3CD / .3CL, dimensions in mm. Note that a comma is used in the drawings instead of a decimal point.
P-733.3DD, dimensions in mm. Note that a comma is used in the drawings instead of a decimal point.
的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿（取决于带宽）（主动导向）。即使在动态操作中，跟踪精度也可高达纳米级。
压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。
115 微米×115 微米×12 微米
100 微米×100 微米×10 微米
CD版本：Sub-D 25W3（公头）
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712
具有电容传感器的P-733、P-734压电陶瓷纳米级定位系统
压电陶瓷定位器：P-5xx / P-6xx / P-7xx
| 型号 | P-733.3 |
|---|---|
| P-733.3CD P-733.3CL | P-733.3DD 单位 公差 |
| 主动轴 | X、Y、Z X、Y、Z |
| 集成传感器 | 电容式 电容式 |
| -20至120 伏时的开环行程 | 115 微米×115 微米×12 微米 33 微米×33 微米×14 微米 +20 % / -0 % |
| 行程，闭环 | 100 微米×100 微米×10 微米 30 微米×30 微米×10 微米 |
| 分辨率，开环 | 0.2（Z向上为0.1） 0.1 纳米 典型值 |
| 分辨率，闭环 | 0.3（Z向上为0.2） 0.1 纳米 典型值 |
| 线性误差（X、Y） | 0.03 0.03* % 典型值 |
| 线性误差（Z） | 0.03 0.03* % 典型值 |
| 重复精度（X、Y） | <2 <2 纳米 典型值 |
| 重复精度（Z） | <1 <1 纳米 典型值 |
| 螺距（X、Y） | <±3 <±5 微弧度 典型值 |
| 偏转角（X、Y） | <±10 <±10 微弧度 典型值 |
| Z向运动时的倾斜 | <±5 <±5 微弧度 典型值 |
| 刚度 | 1.4（Z向上为9） 4（Z向上为10） 牛/微米 ±20 % |
| 谐振频率，空载 | 460（Z向上为1400） 1200（Z向上为1100） 赫兹 ±20 % |
| 带120 克负载时的谐振频率 |
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| 340（Z向上为1060） – 赫兹 ±20 % |
| 带200 克负载时的谐振频率 | 295（Z向上为650） 530（Z向上为635） 赫兹 ±20 % |
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| 运动方向上的推/拉力 | 50 / 20 50 / 20 牛 最大 |
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| 压电陶瓷 | PICMAP-885 PICMAP-885 |
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| 电容 | 6（Z向上为2.4） 6.2（Z向上为3.3） 微法 ±20 % |
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| 工作温度范围 | -20 到 80 -20 到 80 °C |
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| 材料 | 铝 铝 |
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