P-733.3
X和Y向上的行程达100微米 × 100微米,Z向上的行程达10微米。50毫米×50毫米的通光孔径用于透射光应用。P-733.3CD / .3CL, dimensions in mm. Note that a comma is used in the drawings instead of a decimal point.
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50毫米×50毫米的通光孔径用于透射光应用
P-733.3CD / .3CL, dimensions in mm. Note that a comma is used in the drawings instead of a decimal point.
P-733.3DD, dimensions in mm. Note that a comma is used in the drawings instead of a decimal point.
的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿(取决于带宽)(主动导向)。即使在动态操作中,跟踪精度也可高达纳米级。
压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。
115 微米×115 微米×12 微米
100 微米×100 微米×10 微米
CD版本:Sub-D 25W3(公头)
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712
具有电容传感器的P-733、P-734压电陶瓷纳米级定位系统
压电陶瓷定位器:P-5xx / P-6xx / P-7xx
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