P-734
超高精度轨迹控制，特别适用于表面分析和扫描显微镜。更佳的响应和多轴精度：并联运动/计量。电容式传感器可实现小于0.4纳米的分辨率。PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
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← 返回产品列表超高精度轨迹控制，特别适用于表面分析和扫描显微镜
更佳的响应和多轴精度：并联运动/计量
电容式传感器可实现小于0.4纳米的分辨率
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
每1赫兹和1微米的动态操作电流效率，单位为微安。例：10赫兹下10微米的正弦扫描需要约7.8毫安的驱动电流。
P-734.2CL：带E-503放大器模块（多通道）或E-505（每轴一个，高性能）和E-509控制器的E-500模块化压电陶瓷控制器系统
P-734.2CD：多通道数字式控制器：E-710 / E-725台式，E-712模块化，E-725高功率，E-761 PCI板
具有电容传感器的P-733、P-734压电陶瓷纳米级定位系统
| 型号 | P-734 |
|---|---|
| P-734.2CL | P-734.2CD 单位 公差 |
| 主动轴 | X, Y X, Y |
| 集成传感器 | 电容式 电容式 |
| 开环行程，-20至120伏 | 110微米×110微米 110微米×110微米 最小（+20 % / -0 %） |
| 闭环行程 | 100微米×100微米 100微米×100微米 |
| 开环分辨率 | 0.2 0.2 纳米 典型值 |
| 闭环分辨率 | 0.3 0.3 纳米 典型值 |
| 线性误差 | 0.03 0.03 % 典型值 |
| 重复精度 | <2.5 <2.5 纳米 典型值 |
| 螺距 | <3 <3 微弧度 典型值 |
| 偏转角 | <10 <10 微弧度 典型值 |
| 平面度 | 典型值 <5 最大值 10 典型值 <5 最大值 10 纳米 |
| 刚度 | 3 3 牛/微米 ±20 % |
| 谐振频率，空载 | 500 500 赫兹 ±20 % |
| 200克时的谐振频率 | 350 350 赫兹 ±20 % |
| 500克时的谐振频率 | 250 250 赫兹 ±20 % |
| 运动方向上的推/拉力 | 300 / 100 300 / 100 牛 最大 |
| 负载容量 | 20 20 牛 最大 |
| 陶瓷类型 | PICMA P-885 PICMA P-885 |
| 电容 | 6.2 6.2 微法 ±20 % |
| 动态操作电流效率 | 7.8 7.8 微安/(赫兹 × 微米) ±20 % |
| 工作温度范围 | -20 到 80 -20 到 80 °C |
| 材料 | 铝 铝 |
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