P-752
无摩擦柔性铰链导向可实现极高的运动精度。PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命。P-752.11C以3纳米的振幅实现方波控制时的响应行为。亚纳米分辨率、稳定性和双向重复精度均清晰可见
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PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
P-752.11C以3纳米的振幅实现方波控制时的响应行为。亚纳米分辨率、稳定性和双向重复精度均清晰可见。控制器：E-501.00、E-503.00、E-509.C1；伺服控制设置：240赫兹带宽。
P-752.2.xx，尺寸单位为毫米
P-752.1.xx，尺寸单位为毫米
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。
运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现高重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。
66 毫米 × 40 毫米 × 13.5 毫米
84 毫米 × 40 毫米 × 13.5 毫米
E-505、E-610、E-625、E-665、E-754
压电陶瓷定位器：P-5xx / P-6xx / P-7xx
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