S-316
S-316 压电陶瓷Z向偏摆扫描仪。S-316[H]，尺寸单位为mm 符合DIN ISO 2768-f-H的通用公差适用于所有非容许尺寸。请注意，在图中使用逗号代表小数点
广西科米瑞实验仪器设备有限公司生产销售 Physik Instrumente (PI) S-316，可提供产品参数、报价和售后服务咨询，价格面议。
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PICMA压电陶瓷促动器带来长使用寿命
PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘促动器的十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
零间隙的柔性铰链导向机构带来高导向精度
柔性铰链导向机构无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。其刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。其可在较宽的温度范围内工作。
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的D-sub连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
在并联多轴系统中，所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴均具有极小的质量惯性并采用相同的设计，可实现快速、动态且精密的运动。
E-503、E-505、E-509、E-610、E-625
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
机械倾斜时，光束偏转量为2倍。为获得最大倾斜范围，三只压电陶瓷促动器均需施加50V偏置电压。受并联运动结构影响，线性位移与偏摆角度彼此制约。所标注的数值分别为纯线性运动和纯偏摆运动情况下的最大值。
PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明，所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识 是指属性的统计平均值，并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中，我们只检测选定的属性，而不是全部属性。请注意，产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。
压电陶瓷Z向偏摆扫描仪；线性行程12µm；旋转范围（θX×θY）1200µrad×1200µrad；SGS，间接位置测量；LEMO LVPZT接头；电缆长度2m
压电陶瓷Z向偏摆扫描仪；线性行程12µm；旋转范围（θX×θY）1200µrad×1200µrad；SGS，间接位置测量；D-sub 37针接头（公头）；电缆长度2m。
利用多层促动器的制造工艺实现高度可靠的和更长的使用寿命
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