S-330
高谐振频率可达1.6kHz(1"反射镜),可实现动态运动以及快速步进和稳定。S-330.2SH:在不同E-727控制器和反射镜尺寸下的系统频率响应。E-727控制器型号的不同性能水平会显著影响系统的动态特性
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S-330.2SH:在不同E-727控制器和反射镜尺寸下的系统频率响应。E-727控制器型号的不同性能水平会显著影响系统的动态特性。E-727.3SD:5mrad,50Hz优化。E-727.3SDAP:5mrad,420Hz优化。
S-330.8SH:在不同E-727控制器和反射镜尺寸下的系统频率响应。E-727控制器型号的不同性能水平会显著影响系统的动态特性。E-727.3SD:10mrad,10Hz优化。E-727.3SDAP:10mrad,40Hz优化
S-330.xSL带电缆分线箱,尺寸单位为mm。请注意,在图中使用逗号代表小数点。
PICMA 压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命是传统的聚合物绝缘促动器的十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
零间隙的柔性铰链导向机构带来超高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。其刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。其可在较宽的温度范围内工作。
在并联多轴系统中,所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴均具有最小的质量惯性并采用相同的设计,可实现快速、动态且精密的运动。
E-509.S3 + E-505.00 (2×) + E-505.00S + E-500.00
线性误差:S-330.xSH用数字式控制器控制。
单向重复精度:100%偏摆角。S-330.xSH用数字式控制器控制。
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明,所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识 是指属性的统计平均值,并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中,我们只检测选定的属性,而不是全部属性。请注意,产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。
| 型号 | S-330 |
|---|---|
| 运动 | S-330.2SH S-330.2SL S-330.4SH S-330.4SL S-330.8SH S-330.8SL 公差 |
| 主动轴 | θX ǀ θY θX ǀ θY θX ǀ θY θX ǀ θY θX ǀ θY θX ǀ θY |
| θX向上的旋转范围 | 2 mrad 2 mrad 5 mrad 5 mrad 10 mrad 10 mrad |
| θY向上的旋转范围 | 2 mrad 2 mrad 5 mrad 5 mrad 10 mrad 10 mrad |
| θX向上的开环旋转范围 | 3.5 mrad 3.5 mrad 7 mrad 7 mrad 15 mrad 15 mrad ±20 % |
| θY向上的开环旋转范围 | 3.5 mrad 3.5 mrad 7 mrad 7 mrad 15 mrad 15 mrad ±20 % |
| θX向上的线性误差 | 0.05 % 0.05 % 0.1 % 0.1 % 0.1 % 0.1 % typ. |
| θY向上的线性误差 | 0.05 % 0.05 % 0.1 % 0.1 % 0.1 % 0.1 % typ. |
| 定位 | S-330.2SH S-330.2SL S-330.4SH S-330.4SL S-330.8SH S-330.8SL 公差 |
| θX向上的单向重复精度 | ± 0.6 µrad ± 0.6 µrad ± 0.8 µrad ± 0.8 µrad ± 1.5 µrad ± 1.5 µrad typ. |
| θY向上的单向重复精度 | ± 0.6 µrad ± 0.6 µrad ± 0.8 µrad ± 0.8 µrad ± 1.5 µrad ± 1.5 µrad typ. |
| θX向上的开环分辨率 | 0.02 µrad 0.02 µrad 0.1 µrad 0.1 µrad 0.2 µrad 0.2 µrad typ. |
请填写必填信息,我们将在工作日尽快回复。
| θY向上的开环分辨率 | 0.02 µrad 0.02 µrad 0.1 µrad 0.1 µrad 0.2 µrad 0.2 µrad typ. |
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| 集成传感器 | 应变片传感器,间接位置测量 应变片传感器,间接位置测量 应变片传感器,间接位置测量 应变片传感器,间接位置测量 应变片传感器,间接位置测量 应变片传感器,间接位置测量 |
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| θX向上的系统分辨率 | 0.05 µrad 0.05 µrad 0.25 µrad 0.25 µrad 0.5 µrad 0.5 µrad |
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| θY向上的系统分辨率 | 0.05 µrad 0.05 µrad 0.25 µrad 0.25 µrad 0.5 µrad 0.5 µrad |
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| 驱动性能 | S-330.2SH S-330.2SL S-330.4SH S-330.4SL S-330.8SH S-330.8SL 公差 |
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| 驱动类型 | PICMA PICMA PICMA PICMA PICMA PICMA |
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| θX向上的电容 | 3 µF 3 µF 6 µF 6 µF 12.5 µF 12.5 µF ±20 % |
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| θY向上的电容 | 3 µF 3 µF 6 µF 6 µF 12.5 µF 12.5 µF ±20 % |
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| 机械性能 | S-330.2SH S-330.2SL S-330.4SH S-330.4SL S-330.8SH S-330.8SL 公差 |
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| θX向上的谐振频率,空载 | 2.4 kHz 2.4 kHz 2 kHz 2 kHz 1 kHz 1 kHz ±20 % |
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| 在带玻璃反射镜(直径25mm;厚度8mm)的负载下θX向上的谐振频率 | 1.6 kHz 1.6 kHz 1.5 kHz 1.5 kHz 1 kHz 1 kHz ±20 % |
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