S-331
偏摆角度高达5mrad,光学偏转角度高达10mrad(0.57°)。高谐振频率可达10kHz(0.5"反射镜),可实现动态运动以及快速步进和稳定。并联运动设计可实现两个摆轴具有同样的高性能
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← 返回产品列表偏摆角度高达5mrad,光学偏转角度高达10mrad(0.57°)
高谐振频率可达10kHz(0.5"反射镜),可实现动态运动以及快速步进和稳定
并联运动设计可实现两个摆轴具有同样的高性能
用于直径高达12.7mm(0.5")的反射镜
两个轴的单向线性误差:蓝色实线代表轴1,棕色虚线代表轴2。在E-727.3SD数字压电控制器的控制下,S-331.5SH全行程时的线性误差低于0.05%
用E-505压电放大器模块和E-509伺服控制器模块控制空载的S-331.5SL移动全行程
用E-505压电放大器模块和E-509伺服控制器模块控制空载的S-331.5SL的稳定时间:5mrad步距(全位移)的 稳定时间为3ms,精度为±1%。
在不同E-727控制器下的系统频率响应:S-331.2SH。不同性能的E-727控制器会显著影响系统的动态特性。E-727.3SD:3mrad,480Hz优化。E-727.3SDAP:3mrad,800Hz优化。
在不同E-727控制器下的系统频率响应:S-331.5SH。不同性能的E-727控制器会显著影响系统的动态特性。E-727.3SD:5mrad,静态运动优化。E-727.3SDAP:5mrad,250Hz优化。
S-331.xSL带电缆分线箱,尺寸单位为mm。请注意,在图中使用逗号代表小数点。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
PICMA®压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA®促动器的使用寿命是传统的聚合物绝缘促动器的十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
零间隙的柔性铰链导向机构带来超高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。其刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。其可在较宽的温度范围内工作。
在并联多轴系统中,所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴均具有最较小的质量惯性并采用相同的设计,可实现快速、动态且精密的运动。
E-509.S3 + E-505.00 (2×) + E-505.00S + E-500.00
| 型号 | S-331 |
|---|---|
| 运动 | S-331.2SH S-331.2SL S-331.5SH S-331.5SL 公差 |
| 主动轴 | θX ǀ θY θX ǀ θY θX ǀ θY θX ǀ θY |
| θX向上的旋转范围 | 3 mrad 3 mrad 5 mrad 5 mrad |
| θY向上的旋转范围 | 3 mrad 3 mrad 5 mrad 5 mrad |
| θX向上的开环旋转范围 | 4.2 mrad 4.2 mrad 7 mrad 7 mrad ±20 % |
| θY向上的开环旋转范围 | 4.2 mrad 4.2 mrad 7 mrad 7 mrad ±20 % |
| θX向上的线性误差 | 0.1 % 0.3 % 0.1 % 0.3 % typ. |
| θY向上的线性误差 | 0.1 % 0.3 % 0.1 % 0.3 % typ. |
| 定位 | S-331.2SH S-331.2SL S-331.5SH S-331.5SL 公差 |
| θX向上的双向重复精度 | 1.5 µrad 1.5 µrad 2.5 µrad 2.5 µrad typ. |
| θY向上的双向重复精度 | 1.5 µrad 1.5 µrad 2.5 µrad 2.5 µrad typ. |
| θX向上的开环分辨率 | 0.05 µrad 0.05 µrad 0.1 µrad 0.1 µrad typ. |
| θY向上的开环分辨率 | 0.05 µrad 0.05 µrad 0.1 µrad 0.1 µrad typ. |
| 集成传感器 | 应变片传感器,间接位置测量 应变片传感器,间接位置测量 应变片传感器,间接位置测量 应变片传感器,间接位置测量 |
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| 传感器分辨率,旋转 | 0.1 µrad 0.1 µrad 0.25 µrad 0.25 µrad |
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| 驱动性能 | S-331.2SH S-331.2SL S-331.5SH S-331.5SL 公差 |
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| 驱动类型 | PICMA PICMA PICMA PICMA |
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| 标称电压 | 120 V 120 V 120 V 120 V |
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| 最大功耗 | — — — — |
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| θX向上的电容 | 0.96 µF 0.96 µF 6.2 µF 6.2 µF ±20 % |
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| θY向上的电容 | 0.96 µF 0.96 µF 6.2 µF 6.2 µF ±20 % |
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| 机械性能 | S-331.2SH S-331.2SL S-331.5SH S-331.5SL 公差 |
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| θX向上的谐振频率,空载 | 10050 Hz 10050 Hz 2990 Hz 2990 Hz ±20 % |
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